Industri -nyheder

CVD TAC coating er en proces til at danne en tæt og holdbar coating på et underlag (grafit). Denne metode involverer aflejring af TaC på substratoverfladen ved høje temperaturer, hvilket resulterer i en tantalcarbid (TaC) belægning med fremragende termisk stabilitet og kemisk resistens.

Efterhånden som 8-tommer siliciumcarbid (SiC)-processen modnes, accelererer producenter skiftet fra 6-tommer til 8-tommer. For nylig annoncerede ON Semiconductor og Resonac opdateringer om 8-tommer SiC-produktion.

Denne artikel introducerer den seneste udvikling i den nydesignede PE1O8 varmvæg CVD-reaktor fra det italienske firma LPE og dens evne til at udføre ensartet 4H-SiC-epitaksi på 200 mm SiC.

Med den voksende efterspørgsel efter SIC -materialer inden for kraftelektronik, optoelektronik og andre felter, vil udviklingen af ​​SIC -krystalvækstteknologi blive et vigtigt område med videnskabelig og teknologisk innovation. Som kernen i SIC enkelt krystalvækstudstyr vil termisk feltdesign fortsat få omfattende opmærksomhed og dybdegående forskning.

Gennem kontinuerlig teknologisk fremgang og dybdegående mekanismeforskning forventes 3C-SIC Heteroepitaxial Technology at spille en vigtigere rolle i halvlederindustrien og fremme udviklingen af ​​elektroniske enheder med høj effektivitet.

Rumlig ALD, rumligt isoleret atomlagsaflejring. Skiven bevæger sig mellem forskellige positioner og udsættes for forskellige forløbere på hver position. Figuren nedenfor er en sammenligning mellem traditionel ALD og rumligt isoleret ALD.