Produkter

Siliciumcarbid belægning

VeTek Semiconductor har specialiseret sig i produktion af ultrarene siliciumcarbidbelægningsprodukter, disse belægninger er designet til at blive påført på renset grafit, keramik og ildfaste metalkomponenter.


Vores belægninger med høj renhed er primært målrettet til brug i halvleder- og elektronikindustrien. De tjener som et beskyttende lag for waferbærere, susceptorer og varmeelementer, og beskytter dem mod ætsende og reaktive miljøer, der opstår i processer som MOCVD og EPI. Disse processer er integrerede i waferbehandling og fremstilling af enheder. Derudover er vores belægninger velegnede til anvendelser i vakuumovne og prøveopvarmning, hvor der forekommer højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.


Hos VeTek Semiconductor tilbyder vi en omfattende løsning med vores avancerede maskinværkstedskapacitet. Dette gør os i stand til at fremstille basiskomponenterne ved hjælp af grafit, keramik eller ildfaste metaller og påføre SiC- eller TaC-keramiske belægninger internt. Vi leverer også belægningstjenester til kundeleverede dele, hvilket sikrer fleksibilitet til at imødekomme forskellige behov.


Vores siliciumcarbidbelægningsprodukter er meget udbredt i Si-epitaksi, SiC-epitaksi, MOCVD-system, RTP/RTA-proces, ætseproces, ICP/PSS-ætseproces, proces af forskellige LED-typer, herunder blå og grøn LED, UV LED og dyb-UV LED mm., som er tilpasset udstyr fra LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI og så videre.


Reaktordele vi kan lave:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Siliciumcarbidbelægning flere unikke fordele:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek Semiconductor Silicon Carbide Coating Parameter

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystal struktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
SiC belægning Densitet 3,21 g/cm³
SiC-belægningHårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99,99995 %
Varmekapacitet 640 J·kg-1·K-1
Sublimeringstemperatur 2700℃
Bøjestyrke 415 MPa RT 4-punkts
Youngs modul 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne 300W·m-1·K-1
Termisk udvidelse (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
Plasmaætsning fokusring

Plasmaætsning fokusring

En vigtig komponent, der bruges i ætsningsprocessen for waferfremstilling, er plasmaætsningsfokusringen, hvis funktion er at holde waferen på plads for at opretholde plasmadensiteten og forhindre kontaminering af wafersiderne. silicium, siliciumcarbid, borcarbid og andre keramiske materialer. Vi ser frem til at diskutere mere med dig om Vetek plasma ætsning fokusring og dens anvendelse.
SiC belagt E-Chuck

SiC belagt E-Chuck

Vetek Semiconductor er en førende producent og leverandør af SiC-belagte E-Chucks i Kina. SiC coated E-Chuck er specielt designet til GaN wafer ætsningsproces, med fremragende ydeevne og lang levetid, for at give all-round support til din halvlederproduktion. Vores stærke forarbejdningsevne gør os i stand til at give dig den SiC Ceramic Susceptor, du ønsker. Ser frem til din forespørgsel.
SiC ICP ætsningsplade

SiC ICP ætsningsplade

VeTek Semiconductor leverer højtydende SiC ICP-ætsningsplader, designet til ICP-ætsningsapplikationer i halvlederindustrien. Dens unikke materialeegenskaber gør det muligt for den at fungere godt i høje temperaturer, højt tryk og kemiske korrosionsmiljøer, hvilket sikrer fremragende ydeevne og langsigtet stabilitet i forskellige ætseprocesser. Som en førende SiC ICP Etching Plate producent og leverandør i Kina, ser VeTek Semiconductor frem til at blive din langsigtede partner.
Grafit varmeenhed

Grafit varmeenhed

VeTek Semiconductor Graphite Heating Unit er en højtydende industriel varmeløsning lavet af højrent grafitmateriale, som kan give præcis og effektiv varmeeffekt. Grafitvarmeenhed er meget udbredt inden for halvledere, elektronik, keramik og andre områder. Velkommen til din yderligere forespørgsel.
SiC belagt dyb UV LED susceptor

SiC belagt dyb UV LED susceptor

SiC-belagt dyb UV LED-susceptor er designet til MOCVD-proces for at understøtte effektiv og stabil dyb UV LED-epitaksial vækst. VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af SiC-belagt dyb UV LED-susceptor i Kina. Vi har rig erfaring og har etableret langsigtede samarbejdsrelationer med mange LED-epitaksiale producenter. Vi er den førende indenlandske producent af susceptorprodukter til LED'er. Efter mange års verifikation er vores produktlevetid på niveau med top internationale producenters. Ser frem til din forespørgsel.
LED Epitaxy modtager

LED Epitaxy modtager

VeTek Semiconductors LED Epitaxy susceptor er designet til blå og grøn LED epitaksial fremstilling. Den kombinerer siliciumcarbidbelægning og SGL-grafit og har høj hårdhed, lav ruhed, god termisk stabilitet og fremragende kemisk stabilitet. LED Epitaxy susceptor er et af VeTek Semiconductors mest fremragende produkter. Vi ser frem til din henvendelse.
Som en professionel Siliciumcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for skræddersyede tjenester til at opfylde de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid belægning fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept