VeTek Semiconductor leverer speciel grafit som silikoniseret grafit, pyrolytisk kulstof, porøs grafit, glasagtig kulstofbelægning, højrent grafitplade og isostatisk grafit med høj renhed er flere typer specielle grafitmaterialer, der deler fælles egenskaber og anvendelser. Her er en kort introduktion til deres funktioner og applikationer:
● Silikoniseret grafit: Silikoniseret grafit er et specielt grafitmateriale dannet ved at kombinere grafit med siliciumforbindelser. Det udviser fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed og mekaniske egenskaber. Silikoniseret grafit bruges almindeligvis i højtemperaturovne, korrosionsbestandigt udstyr og halvlederfremstilling.
● Pyrolytisk kulstof: Pyrolytisk kulstof er et kulstofmateriale opnået ved højtemperaturpyrolyse af organiske stoffer som kul og petroleumskoks. Det kan prale af høj renhed, tæthed, styrke og lav elektrisk ledningsevne. Pyrolytisk kulstof finder brede anvendelser som højtemperaturmaterialer og strukturelle komponenter inden for halvledere, kemisk udstyr, rumfart og andre områder.
● Porøs grafit: Porøs grafit er et specielt grafitmateriale med mikro- og mesoporøse strukturer. Det har et stort specifikt overfladeareal og porøsitet, der tilbyder fremragende adsorptions- og varmeledningsegenskaber. Porøs grafit bruges almindeligvis til gasseparation, SiC-krystalvækst og andre applikationer.
● Glasagtig kulstofbelægning: Glasagtig kulstofbelægning henviser til teknikken til at påføre glasagtigt kulstofmateriale som overfladebelægning. Det udviser enestående korrosionsbestandighed, slidstyrke og elektrisk ledningsevne. Glasagtige kulstofbelægninger bruges ofte i korrosionsbestandige belægninger, belægningsmateriale til E-Beam Gun og andre halvlederfelter.
● Isostatisk grafit med høj renhed: Isostatisk grafit med høj renhed er et specielt grafitmateriale med høj renhed, der er fremstillet gennem en isostatisk højtemperaturpresningsproces. Den har en ensartet mikrostruktur, høj densitet og lavt iltindhold. Isostatisk grafit med høj renhed anvendes i vid udstrækning i præcisionsbearbejdning, varmeafledningsmaterialer, halvlederfremstilling, fotovoltaik, rumfart og andre industrier.
Højrent grafitpapir er et specialiseret materiale, der bruges i halvlederindustrien. Med sin enestående termiske og elektriske ledningsevne spiller den en afgørende rolle i applikationer som køleplader, termiske grænsefladematerialer og elektrisk isolering. Den lette og fleksible karakter af højrent grafitpapir gør det ideelt til at forbedre termisk styring og optimere ydeevnen af halvlederenheder. Dens høje renhed (urenhed under 5 ppm) sikrer pålidelig og effektiv drift, hvilket gør den til en værdifuld komponent i fremstilling og samling af halvledere.
Disse specielle grafitmaterialer tilbyder unikke egenskaber og anvendelsesfordele inden for deres respektive områder. De spiller en afgørende rolle i højtemperaturmiljøer, korrosionsbestandighed, elektronik, energi, kemiteknik, rumfart og halvlederindustrier, og yder vigtig støtte til fremskridt og innovationer i disse sektorer.
Nøglefunktioner
● Muligheder for ultrahøj renhed med urenhedsniveauer under 5 ppm til kritiske halvlederprocesser.
● Fremragende højtemperaturstabilitet og termisk stødbestandighed velegnet til PVT SiC krystalvækst og vakuumovne.
● Forskellige materialeformer: isostatisk grafit, porøs grafit, silikoniseret grafit, PyC-belægning, glasagtig kulstofbelægning og fleksible grafitplader.
● Overlegen korrosionsbestandighed, slidstyrke og kontrolleret porøsitet til gasstyring og termiske feltanvendelser.
● Egen bearbejdning og belægningskapacitet (SiC / TaC / PyC), der muliggør one-stop-tilpassede løsninger.
● Kompatibel med større halvleder- og krystalvækstudstyrsplatforme.
Produktspecifikationer
| Pyrolytisk kulstof (PyC) belægningsparameter |
| Punkt |
Enhed |
værdi |
| Krystal struktur |
-
|
Sekskantet |
| Justering |
-
|
Orienteret eller ikke-orienteret langs 001 retning |
| Bulkdensitet |
g/cm³ |
~2,24 |
| Mikrostruktur |
-
|
Polykrystallinsk/Flerlags grafen |
| Hårdhed |
GPa |
1.1
|
| Elastikmodul |
GPa |
10
|
| Typisk tykkelse |
μm |
30-100 |
| Overfladeruhed |
μm |
1.5
|
| Produktets renhed |
ppm |
≤5 ppm |
Ansøgninger
For at imødekomme de forskellige behov for halvleder- og højtemperaturprocesser tilbyder VeTek målrettede specialgrafitprodukter. Følgende tabel klassificerer dem efter hovedanvendelsesområder og viser typiske materialer/komponenter og anvendelige processer:
| Ansøgningsfelt |
Typiske materialer / produkter |
Ansøgningsbeskrivelse |
| SiC Crystal Growth (PVT) |
Porøs grafit, PyC-belagt grafitring, isostatisk grafitdigel, styrering
|
Anvendes i PVT SiC krystalvækst termiske felter; giver kontrolleret damptransport, høj renhed og termisk stabilitet op til >2200°C, hvilket reducerer partikelforurening. |
| Halvlederepitaksi / MOCVD |
varmelegemer, PyC / glasagtige kulstofbelagte dele
|
Termiske feltkomponenter med høj renhed til Si/SiC/GaN-epitaksi og MOCVD-systemer; fremragende temperaturensartethed og kemisk inerthed. |
| Højtemperaturovne og vakuum |
Grafitvarmere, Grafitdigel med tre kronblade
|
Korrosionsbestandige og termisk stabile materialer til vakuumovne, varmezonevarmere og højtemperaturbehandlingsudstyr. |
| Termisk styring |
Grafitfilt med høj renhed, Grafit papir
|
Fleksible plader med høj termisk/elektrisk ledningsevne til køleplader, termiske grænsefladematerialer og elektrisk isolering i halvlederenheder (urenhed <5 ppm). |
| Korrosion / Slidbeskyttelse |
Glasagtig kulstofbelægning, silikoniseret grafit |
Overfladebelægninger og bulkmaterialer, der tilbyder enestående korrosionsbestandighed, slidstyrke og elektrisk ledningsevne til E-strålepistoler og barske miljøer. |
| Gasseparation og -adsorption |
Porøs grafit
|
Mikro/mesoporøs struktur med stort specifikt overfladeareal til gasseparation, filtrering og kontrolleret atmosfære. |
For mere detaljerede produkt- og procesløsninger, se venligst de relaterede underkategorisider:Porøs grafit, Isotropisk grafit, Pyrolytisk kulstofbelægningosv.
Som en professionel speciel grafitproducent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for skræddersyede tjenester for at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar specialgrafit fremstillet i Kina, kan duefterlad os en besked.
