SiC Single Crystal Growth Process Reservedele

VeTek Semiconductors produkt, tantalcarbid (TaC) belægningsprodukter til SiC Single Crystal Growth Process, adresserer udfordringerne forbundet med vækstgrænsefladen af siliciumcarbid (SiC) krystaller, især de omfattende defekter, der opstår ved krystallens kant. Ved at påføre TaC-coating tilstræber vi at forbedre krystalvækstkvaliteten og øge det effektive område af krystallens centrum, hvilket er afgørende for at opnå hurtig og tyk vækst.

TaC-coating er en kerneteknologisk løsning til dyrkning af højkvalitets SiC-enkrystalvækstproces. Vi har med succes udviklet en TaC-belægningsteknologi ved hjælp af kemisk dampaflejring (CVD), som har nået et internationalt avanceret niveau. TaC har exceptionelle egenskaber, herunder et højt smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termisk stød. Det udviser også god kemisk inertitet og termisk stabilitet, når det udsættes for høje temperaturer og stoffer som ammoniak, brint og siliciumholdig damp.

VeTek Semiconductors tantalcarbid (TaC) belægning tilbyder en løsning til at løse de kantrelaterede problemer i SiC Single Crystal Growth Process, hvilket forbedrer kvaliteten og effektiviteten af vækstprocessen. Med vores avancerede TaC-belægningsteknologi sigter vi mod at støtte udviklingen af tredje generations halvlederindustri og reducere afhængigheden af importerede nøglematerialer.

PVT-metoden SiC Enkeltkrystalvækstproces reservedele:

TaC-belagt smeltedigel, frøholder med TaC-belægning, TaC-belægningsguidering er vigtige dele i SiC- og AIN-enkeltkrystalovne ved PVT-metoden.

Nøglefunktion:

- Høj temperaturbestandighed

-Høj renhed, vil ikke forurene SiC-råmaterialer og SiC-enkeltkrystaller.

- Modstandsdygtig over for Al-damp og N₂-korrosion

-Høj eutektisk temperatur (med AlN) for at forkorte krystalforberedelsescyklussen.

- Genanvendeligt (op til 200 timer), det forbedrer bæredygtigheden og effektiviteten af fremstillingen af sådanne enkeltkrystaller.

TaC belægningsegenskaber

Typiske fysiske egenskaber ved Tac Coating

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne	0.3
Termisk udvidelseskoefficient	6,3 10-6/K
Hårdhed (HK)	2000 HK
Modstand	1×10-5 Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstørrelsen ændres	-10~-20um
Belægningstykkelse	≥20um typisk værdi (35um±10um)

Tantalcarbid belagt afledningsring TaC Coating Guide Ring TaC belægningsring Tantalcarbid belagt plade TaC belagt borepatron TaC belægningsrør

View as

TaC-belagt ring til PVT-vækst af SiC-enkeltkrystal

Som en af de førende leverandører af TaC-belægningsprodukter i Kina er VeTek Semiconductor i stand til at give kunderne tilpassede dele af høj kvalitet til TaC-belægning. TaC-belagt ring til PVT-vækst af SiC-enkeltkrystal er et af VeTek Semiconductors mest fremragende og modne produkter. Det spiller en vigtig rolle i PVT-væksten af SiC-krystalprocessen og kan hjælpe kunder med at dyrke SiC-krystaller af høj kvalitet. Ser frem til din forespørgsel.

Se mere >> Send forespørgsel >>

Tantalcarbid belægningsring

VeTek semiconductor Tantalum Carbide Coating Ring er en uundværlig komponent i halvlederindustrien, specielt ved ætsning af SiC wafere. Dens kombination af en grafitbase og TaC-belægning sikrer overlegen ydeevne i høje temperaturer og kemisk aggressive miljøer. Med sin forbedrede termiske stabilitet, korrosionsbestandighed og mekaniske styrke hjælper Tantalcarbide Coated Ring halvlederproducenter med at opnå præcision, pålidelighed og højkvalitetsresultater i deres produktionsprocesser.

Se mere >> Send forespørgsel >>

TaC belægningsring

TaC Coating Ring er en højtydende komponent designet til brug i halvlederprocesser, VeTek semiconductor TaC Coating Ring har høj termisk stabilitet, modstandsdygtighed over for kemisk korrosion og fremragende mekanisk styrke og bruges specifikt til at holde og understøtte SiC wafers under ætseprocessen, hvor præcis kontrol og holdbarhed er afgørende for at opnå højkvalitets wafers. vi ser frem til din videre konsultation.

Se mere >> Send forespørgsel >>

TAC Coating Crucible

Som en professionel TAC -belægningsmæssig leverandør og producent i Kina, spiller Vetek Semiconductors TAC Coating Crucible en uerstattelig rolle i den enkelte krystalvækstproces af halvleder med sin fremragende termiske ledningsevne, enestående kemisk stabilitet og forbedret korrosionsbestandighed. Velkommen dine yderligere forespørgsler.

Se mere >> Send forespørgsel >>

Tantalcarbidovertrukket guide ring

Som en Kinas førende leverandør og producent af TaC-belægningsstyreringer er VeTek Semiconductor tantalcarbid-belagt styrering en vigtig komponent, der bruges til at styre og optimere strømmen af reaktive gasser i PVT-metoden (Physical Vapor Transport). Det fremmer den ensartede aflejring af SiC-enkeltkrystaller i vækstzonen ved at justere fordelingen og hastigheden af gasstrømmen. VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af TaC-belægningsstyreringe i Kina og endda i verden, og vi ser frem til din konsultation.

Se mere >> Send forespørgsel >>

TaC Coated ring

Som en førende producent og leverandør af TaC Coated ringprodukter i Kina har VeTek Semiconductor fokuseret på R&D og produktion af forskellige TaC coatingprodukter. Som hovedkunder af TaC Coating-produkter har europæiske og amerikanske producenter givet stor ros til vores coatingprodukter. Velkommen til din videre konsultation.

Se mere >> Send forespørgsel >>

Som en professionel SiC Single Crystal Growth Process Reservedele producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for skræddersyede tjenester til at opfylde de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar SiC Single Crystal Growth Process Reservedele fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.