TaC belægningsring

Vetek Semiconductors TAC-belægningsring er udformet af grafit af høj kvalitet og belagt med tantalcarbid (TAC), et materiale, der er kendt for sine overlegne egenskaber, er en uundværlig komponent i behandling af halvlederskiver.

Nøglefunktionerne og fordelene ved VeTek semiconductor TaC Coating Ring:

● Høj termisk stabilitet: Et af de fremtrædende træk ved tantalcarbidbelægningsringen er dens evne til at modstå høje temperaturer, en kritisk faktor i ætsning af halvleder. SIC -ætsningsprocessen involverer eksponering for forhøjede temperaturer og reaktive gasser, og tantalcarbidbelægningen sikrer, at ringen forbliver stabil og bevarer sin strukturelle integritet, selv under disse barske forhold. Denne termiske modstandsdygtighed sikrer, at komponenten fortsætter med at fungere optimalt i længere perioder.

●  Forbedret mekanisk styrke: Kombinationen af ​​grafit og TAC-belægning med høj styrke resulterer i en komponent med forbedrede mekaniske egenskaber, hvilket gør den TAC-coatede ring meget modstandsdygtig over for slid. Dens mekaniske styrke er afgørende for at holde SIC -skiver fast på plads, sikre nøjagtig ætsning og forhindre enhver deformation under processen.

● Kemisk korrosionsbestandighed: I halvlederprocesser, såsom SIC -ætsning, udsættes komponenter ofte for aggressive kemikalier og reaktive gasser. Tantalumcarbidbelægningen giver fremragende beskyttelse mod korrosion, der markant forlænger ringenes brugstid og minimerer behovet for hyppige udskiftninger. Denne modstand er især vigtig i ætsningsprocessen, hvor komponenterne er i konstant kontakt med kemisk reaktive stoffer.

● Superior Coatitac CoatingsNg til forbedret ydelse: Tantalcarbidbelægningen på grafitringen giver en robust overflade, der forbedrer komponentens samlede ydelse. Tantalumcarbid er kendt for sit høje smeltepunkt (ca. 3.880 ° C) og dets fremragende modstand mod kemiske reaktioner, især i de aggressive miljøer, der typisk opstår under fremstillingsprocesser i halvleder. Denne tantalcarbidbelægning forbedrer produktets levetid markant, hvilket giver overlegen holdbarhed sammenlignet med ikke -overtrukne grafitringe.

●  Forbedret mekanisk styrke: Kombinationen af ​​grafit og TAC-belægning med høj styrke resulterer i en komponent med forbedrede mekaniske egenskaber, hvilket gør den TAC-coatede ring meget modstandsdygtig over for slid. Dens mekaniske styrke er afgørende for at holde SIC -skiver fast på plads, sikre nøjagtig ætsning og forhindre enhver deformation under processen.

Som en førende TAC -coating -ringleverandør, producent og fabrik i Kina har Vetek Semiconductor længe været forpligtet til at levere avancerede TAC -coating -ringprodukter og tekniske løsninger til halvlederforarbejdningsindustrien og understøtter tilpassede produkttjenester. Veteksemi ser oprigtigt frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning

Vetek Semiconductor's TAC Coating Ring Product Shops