Hvordan forbedrer TaC-belægning grafitkomponenternes levetid? - VeTek Semiconductor

CVD Tantalum carbidbelægningproduceres ved dampaflejring af tantalcarbid (TAC) på overfladen af ​​grafitunderlaget med høj renhed under anvendelse af Vetek Semiconductors proprietære kemiske dampaflejringsproces (CVD).

Tantalcarbid (TaC) belægninger forbedrer levetiden væsentligtGrafitdeleGennem flere mekanismer, især i høj temperatur, stærkt ætsende miljøer såsom fremstilling af halvleder og krystalvækst. 

Her er de specifikke grunde hvorforTac -belægningerforbedre holdbarheden af ​​grafitdele:

●  Forbedret modstand ved høje temperaturer

Ekstremt høj termisk stabilitet: TaC-belægninger er i stand til at forblive stabile ved ekstremt høje temperaturer over 2000°C og kan endda arbejde effektivt ved 2200°C. Denne høje temperaturtolerance gør det muligt for belægningen at modstå erosion af smeltede metaller og kemiske gasser under halvlederfremstilling og forlænger derved levetiden for grafitdele.

●  Fremragende korrosionsbestandighed

Kemisk erosionsbestandighed: TaC-belægninger har stærk modstand mod ætsende gasser som brint, ammoniak og siliciumdamp, hvilket effektivt kan forhindre disse gasser i at korrodere grafitsubstratet og reducere risikoen for beskadigelse af grafitdele i barske miljøer. Dette betyder, at belægningen under krystalvækstprocessen kan hæmme urenhedsmigrering og forbedre krystalkvalitet og udbytte.

●  Forbedrede mekaniske egenskaber

God vedhæftning og termisk chokresistens: TAC-belægninger har stærk vedhæftning til grafitsubstratet, hvilket sikrer, at belægningen ikke skræles eller delamineres under høje temperaturoperationer. Derudover kan dens fremragende termiske stødmodstand modstå hurtige temperaturændringer uden at revne eller skrælle, hvilket yderligere forlænger levetiden for grafitdele.

●  Reducer kontaminering af urenheder

Ultrahøj renhed: TAC-belægninger har ekstremt lavt urenhedsindhold, hvilket hjælper med at reducere forureningsproblemer, der kan forekomme under høje temperaturforhold. Ved at forhindre uønskede urenheder i at migrere til det epitaksiale lag, forbedrer TAC -overtræk betydeligt renheden og kvaliteten af ​​krystalvækstprocessen.

●  Optimer termisk styring

Forbedre termisk ledningsevne og resistivitet: TaC-belægninger har relativt lav termisk ledningsevne og resistivitet, hvilket gør det muligt at anvende dem i varmeapparater og andre termiske styringskomponenter for at forbedre energieffektiviteten og reducere energitab. Denne funktion forbedrer ikke kun driftseffektiviteten, men reducerer også materialetræthed og skader forårsaget af overophedning.