Grafitdisk modtager

Vetek Semiconductor's Graphite Disc Susceptor, et højtydende produkt til avancerede halvlederfremstillingsprocesser. Vores grafitdisksusceptor er designet til at imødekomme industriens krævende krav og give enestående ydeevne og pålidelighed. Denne grafitskivesceptor er OEM for AIX G5 Planetary Reactor Platform.

GaN-on-Si MOCVD bruges til LED-epitaksial produktion, og Aixtron G5-reaktoren forbedrer udbyttet og ensartetheden af ​​MOCVD-platformen. Et fuldt roteret symmetrisk ensartet mønster på fem 200 mm wafere, ved hjælp af et standardtykkelse siliciumsubstrat og styring af waferbøjningsadfærd formaliserede, hvad de havde brug for til siliciumfremstilling.

Vetek Semiconductors High-Purity Graphite Disc Susceptor til GaN-on-Si MOCVD, en pålidelig og omkostningseffektiv løsning til avancerede halvlederfremstillingsprocesser.

Vores højrente grafitdisksusceptor er specielt designet til at opfylde kravene til GaN-on-Si MOCVD-processer. Med sin exceptionelle termiske stabilitet og varmebestandighed kan den modstå de krævende temperaturforhold, der typisk spænder fra 800°C til 1100°C, hvilket sikrer optimal ydeevne under aflejringsprocessen.

Grafitmaterialet med høj renhed, der anvendes i vores skivefølende, giver fremragende kemisk resistens, hvilket gør det kompatibelt med ammoniak (NH3) og organiske metalforløbere, der ofte bruges i GaN-on-Si MOCVD. Dette eliminerer behovet for yderligereSiC belægninger, hvilket reducerer produktionsomkostningerne uden at gå på kompromis med ydelsen.

Vetek Semiconductors grafitskivesceptor med høj renhed tilbyder en omkostningseffektiv løsning uden at gå på kompromis med kvaliteten. Dens pålidelighed, holdbarhed og kompatibilitet med GaN-on-Si MOCVD-processer gør det til det foretrukne valg for halvlederproducenter. Tillid Vetek Semiconductor til at levere højtydende grafitskivesceptorer til dine Gan-on-Si MOCVD-fremstillingsbehov.