VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiproces. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.
Hovedprodukterne er TaC Coated Guide Ring, CVD TaC coated tre-petal guide ring, Tantalum Carbide TaC Coated Halfmoon, CVD TaC coating planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantal carbide Coating Ring, Tantalum Carbide Coated Porøs Grafit, TaC Coating Rotation Susceptor, Tantal Coating TaC Rotation, TaC Coating Ring susceptor, TaC Coated Deflector Ring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuck osv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.
TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejring (CVD)-proces. Fordelen er vist på billedet nedenfor:
Tantalcarbid (TaC)-belægningen har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksi-metoden har også en bred SiC-epitaksi-proces.
Nøglefunktioner
● Temperaturstabilitet op til 2500°C med fremragende modstandsdygtighed over for termisk stød.
● Ultrahøj renhed (<5ppm) og stærk vedhæftning til grafit for minimal partikeldannelse.
● Overlegen modstandsdygtighed over for H₂, NH₃, SiH₄ og Si-dampe i barske procesmiljøer.
● Konform belægningsdækning med størrelseskapacitet op til 750 mm i diameter, unikt tilgængelig i Kina.
Produktspecifikation
Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:
| Fysiske egenskaber ved TaC-belægning |
| Tæthed |
14,3 g/cm³ |
| Hårdhed |
2000 HK |
| Termisk ekspansion |
6,3×10⁻⁶/K |
| Modstand |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Termisk stabilitet |
<2500°C |
| Belægningstykkelse |
≥20μm (typisk 35±10μm) |
carbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:
TaC coating EDX data:
TaC coating krystal struktur data:
| Element |
Atomprocent |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Gennemsnit |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Ansøgninger
For at imødekomme de forskellige behov for halvlederprocesser tilbyder VeTek målrettede tantalcarbidbelægningsprodukter. Følgende tabel klassificerer dem efter hovedanvendelsesområder og viser typiske komponenter og anvendelige processer:
| Ansøgningsfelt |
Typiske produkter |
Ansøgningsbeskrivelse |
| SiC Epitaksi |
CVD TaC coated planetarisk susceptor,TaC coated wafer susceptor,TaC-belagt styrering
|
Velegnet til højtemperatur SiC epitaksiale processer (f.eks. LPE-metoden), hvilket giver høj termisk stabilitet og en grænseflade med lav kontaminering for at sikre ensartet film. |
| GaN / LED-epitaxi (MOCVD) |
Brusehoved, satellit-skive, maskering, varmeskjold, indsprøjtningsdyse |
Velegnet til Aixtron MOCVD-systemer, modstandsdygtig over for H₂/NH₃-korrosion, reducerer partikelkontamination og forbedrer LED-epitaksialt udbytte. |
| SiC Crystal Growth (PVT-metode) |
TaC-belagt porøs grafit,TaC belagt halvmåne,styrering,dække,chuck
|
Anvendes i PVT SiC ingot-vækst, modstår op til 2500°C, forhindrer grafitreaktioner og sikrer krystalrenhed. |
| Højtemperaturopvarmning og understøttende komponenter |
Induktiv varmemodtager,resistivt varmeelement, waferbærer
|
Velegnet til induktions- eller resistive varmesystemer, tilbyder høj hårdhed og termisk stødmodstand, hvilket forlænger komponentens levetid med 3-5 gange. |
For mere detaljerede procestilpasningsløsninger henvises tilSiliciumcarbid epitaksirelateret ansøgningsside.
Vi understøtter skræddersyede tjenester baseret på kundens krav. Bestået ISO9001 med god kvalitetskontrol.
Velkommen til at kontakte os for yderligere rådgivning eller læg en besked
