TAC Coating Pedestal Support Plate

Vetek Semiconductor er Kina Producent og leverandør, der hovedsageligt producerer CVD TAC -belægningsføltere, indløbsring, Wafer Chunck, TAC -coated indehaver, TAC -belægningssupportplade med mange års erfaring. Håber at opbygge forretningsforhold med dig.

TAC -keramik har et smeltepunkt på op til 3880 ℃, høj hårdhed (Mohs hårdhed 9 ~ 10), stor termisk ledningsevne (22W · m^-1· K⁻¹), stor bøjningsstyrke (340 ~ 400MPa) og lille termisk ekspansionskoefficient (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) og viser fremragende termokemisk stabilitet og fremragende fysiske egenskaber. Det har god kemisk og mekanisk kompatibilitet med grafit- og c/c -kompositmaterialer, så TAC -belægning bruges i vid udstrækning i rumbeskyttelse af rumfart, enkelt krystalvækst og epitaksiale reaktorer som Aixtron, LPE EPI -reaktor i halvlederindustrien. 

TAC -coated grafit har bedre kemisk korrosionsresistens end bare stenblæk eller SIC -coatet grafit, kan bruges stabilt ved 2200 ° høj temperatur, reagerer ikke med mange metalelementer, er den tredje generation af halvlederens enkelt krystalvækst, epitaxy og wafer ætsningsscene med den bedste ydelsesbelægning, kan forbedre processen med temperatur og urenhedskontrol, fremstilling af silicon -carbid -silicon -silicon og beslægtet epit, der kan forbedre processen med temperatur og urenhedskontrol, fremstilling af høj kvalitet silicon carbide waFers og beslægtet epitaks, kan forbedrer. Det er især velegnet til dyrkning af GaN- eller ALN -enkeltkrystall i MOCVD -udstyr og SIC -enkeltkrystall i PVT -udstyr, og kvaliteten af ​​den enkelt krystal, der er vokset, forbedres åbenbart.