Materialer & Design

At vælge den matchede substrat- og belægningskombination er nøglen til at forhindre for tidlig komponentfejl, reducere partikelkontamination og maksimere waferudbytte. Vi leverer skræddersyede materialer og strukturelle designløsninger omkring kundens specifikke procesvindue (driftstemperatur, reaktiv gaskemi, rampehastigheder).

Vores kernedesignegenskaber:

• Strenge CTE Stress Matching:Til hurtig termisk cykling (>100 °C/min) matcher vi præcist CTE-temperaturkurverne for grafitsubstrater med høj renhed og CVD-belægninger, hvilket fundamentalt reducerer risikoen for belægningsdelaminering og mikrorevner.
• Proces-scenario-specifik belægningsvalg:CVD SiC-belægning til Si/SiC-epitaksi (Epi), MOCVD og plasmaætsningsmiljøer; CVD TaC-belægning til højere temperaturer og stærkt korrosive forhold (f.eks. SiC-enkeltkrystal-PVT-vækst).
• Kontrollerbar resistivitet og termisk ledningsevneoptimering:Præcis kontrol af bulk-resistivitet og termisk ledningsevne af substrat og belægning for at opfylde specifikke elektriske og termiske feltkrav for RF, ESC elektrostatiske patroner eller varmezoner.
• Kontamineringskildekontrol & CoO-reduktion:CVD-aflejringslag med høj renhed forsegler porøs grafit tæt, hvilket i betydelig grad reducerer partikeludskillelse, diffusion af ultraspormetalurenheder og risiko for afgasning ved høj temperatur.

Sammenligning af typisk belægningsvalg (overblik over vejledning)

Virkelig sag og kundefordele (erfaring):

En førende SiC-epitaksi (Epi) producent:Den originale komponent brugte en forkert CVD TaC-belægning, hvilket resulterede i overdreven grænsefladebelastning og hyppige mikrorevner ved høj temperatur. Vi kørte termodynamiske simuleringer igen og skiftede til enCTE-matchet specialgrafitsubstrat med høj renhed + bufferlag + CVD SiC-belægningløsning. Resultat: gennemsnitlig komponentlevetid øget fra 200 timer til 850 timer; den årlige udskiftningsfrekvens pr. værktøj faldt fra 40 til 9 gange; omfattende udstyr O&M omkostningsbesparelser oversteg RMB 650.000 om året.

GDMS-renhedsanalyserapport for TaC- og SiC-belægninger

FAQ

Start din eksklusive service nu