Siliciumcarbid keramik

VeTek Semiconductor er din innovative partner inden for halvlederbehandling. Med vores omfattende portefølje af materialekombinationer af siliciumcarbidkeramik i halvlederkvalitet, komponentfremstillingskapaciteter og applikationsingeniørtjenester kan vi hjælpe dig med at overvinde betydelige udfordringer. Teknisk teknisk siliciumcarbidkeramik anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres exceptionelle materialeydelse. VeTek Semiconductors ultra-rene siliciumcarbidkeramik bruges ofte gennem hele cyklussen af ​​halvlederfremstilling og -behandling.

DIFFUSION & LPCVD BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerede keramiske komponenter, der er specielt designet til batchdiffusion og LPCVD-krav, herunder:

• Bafler & holdere
• Injektorer
• Liners & procesrør
• Cantilever-padler af siliciumcarbid
• Waferbåde og piedestaler

SiC Cantilever-pagaj SiC procesrør Siliciumcarbid procesrør SiC lodret wafer båd SiC vandret wafer båd SiC horizontals firkantet wafer båd SiC LPCVD wafer båd SiC vandret pladebåd SiC keramisk tætningsring

ÆTSNINGSPROCESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter af høj renhed, der er udviklet til belastningen af ​​plasmaætsningsbehandling, herunder:

HURTIG TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avancerede materialekomponenter, der er skræddersyet til højtemperatur termisk behandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Disse applikationer omfatter RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation og annealing. Vores tekniske keramik er designet til at modstå termiske stød og leverer pålidelig og ensartet ydeevne. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederproducenter opnå effektiv termisk behandling af høj kvalitet, hvilket bidrager til den overordnede succes for halvlederproduktion.