QR kode

VeTek Semiconductor er din innovative partner inden for halvlederbehandling. Med vores omfattende portefølje af materialekombinationer af siliciumcarbidkeramik i halvlederkvalitet, komponentfremstillingskapaciteter og applikationsingeniørtjenester kan vi hjælpe dig med at overvinde betydelige udfordringer. Teknisk teknisk siliciumcarbidkeramik anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres exceptionelle materialeydelse. VeTek Semiconductors ultra-rene siliciumcarbidkeramik bruges ofte gennem hele cyklussen af halvlederfremstilling og -behandling.
VeTek Semiconductor leverer konstruerede keramiske komponenter, der er specielt designet til batchdiffusion og LPCVD-krav, herunder:
• Bafler & holdere
• Injektorer
• Liners & procesrør
• Cantilever-padler af siliciumcarbid
• Waferbåde og piedestaler
SiC Cantilever-pagaj
SiC procesrør
Siliciumcarbid procesrør
SiC lodret wafer båd
SiC vandret wafer båd
SiC horizontals firkantet wafer båd
SiC LPCVD wafer båd
SiC vandret pladebåd
SiC keramisk tætningsring
Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter af høj renhed, der er udviklet til belastningen af plasmaætsningsbehandling, herunder:
Fokus ringe
Dyser
Skjolde
Brusehoveder
Vinduer / låg
Andre brugerdefinerede komponenter
VeTek Semiconductor leverer avancerede materialekomponenter, der er skræddersyet til højtemperatur termisk behandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Disse applikationer omfatter RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation og annealing. Vores tekniske keramik er designet til at modstå termiske stød og leverer pålidelig og ensartet ydeevne. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederproducenter opnå effektiv termisk behandling af høj kvalitet, hvilket bidrager til den overordnede succes for halvlederproduktion.
• Diffusorer
• Isolatorer
• Susceptorer
• Andre brugerdefinerede termiske komponenter
Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
Ejendom | Typisk værdi |
Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
SiC / SiC indhold | > 99,96 % |
Si / Gratis Si indhold | < 0,1 % |
Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
Tilsyneladende porøsitet | < 16 % |
Kompressionsstyrke | > 600 MPa |
Koldbøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
Varmbøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
Termisk ekspansion ved 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
Elastikmodul | 240 GPa |
Modstandsdygtighed over for termisk stød | Yderst god |
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd Alle rettigheder forbeholdes.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |