Produkter

Siliciumcarbid keramik

VeTek Semiconductor er din innovative partner inden for halvlederbehandling. Med vores omfattende portefølje af materialekombinationer af siliciumcarbidkeramik i halvlederkvalitet, komponentfremstillingskapaciteter og applikationsingeniørtjenester kan vi hjælpe dig med at overvinde betydelige udfordringer. Teknisk teknisk siliciumcarbidkeramik anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres exceptionelle materialeydelse. VeTek Semiconductors ultra-rene siliciumcarbidkeramik bruges ofte gennem hele cyklussen af ​​halvlederfremstilling og -behandling.


DIFFUSION & LPCVD BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerede keramiske komponenter, der er specielt designet til batchdiffusion og LPCVD-krav, herunder:

• Bafler & holdere
• Injektorer
• Liners & procesrør
• Cantilever-padler af siliciumcarbid
• Waferbåde og piedestaler


ÆTSNINGSPROCESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter af høj renhed, der er udviklet til belastningen af ​​plasmaætsningsbehandling, herunder:

Fokus ringe

Dyser

Skjolde

Brusehoveder

Vinduer / låg

Andre brugerdefinerede komponenter


HURTIG TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avancerede materialekomponenter, der er skræddersyet til højtemperatur termisk behandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Disse applikationer omfatter RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation og annealing. Vores tekniske keramik er designet til at modstå termiske stød og leverer pålidelig og ensartet ydeevne. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederproducenter opnå effektiv termisk behandling af høj kvalitet, hvilket bidrager til den overordnede succes for halvlederproduktion.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre brugerdefinerede termiske komponenter


Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid
Ejendom Typisk værdi
Arbejdstemperatur (°C) 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)
SiC / SiC indhold > 99,96 %
Si / Gratis Si indhold < 0,1 %
Bulkdensitet 2,60-2,70 g/cm3
Tilsyneladende porøsitet < 16 %
Kompressionsstyrke > 600 MPa
Koldbøjningsstyrke 80-90 MPa (20°C)
Varmbøjningsstyrke 90-100 MPa (1400°C)
Termisk ekspansion ved 1500°C 4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C 23  W/m•K
Elastikmodul 240 GPa
Modstandsdygtighed over for termisk stød Yderst god


View as  
 
SiC keramik wafer båd

SiC keramik wafer båd

VeTek semiconductor er en førende SiC Ceramics Wafer Boat leverandør, producent og fabrik i Kina. Vores SiC Ceramics Wafer Boat er en vital komponent i avancerede waferhåndteringsprocesser, der henvender sig til solcelle-, elektronik- og halvlederindustrien. Ser frem til din konsultation.
Siliciumcarbid keramisk waferbåd

Siliciumcarbid keramisk waferbåd

Vetek Semiconductor er specialiseret i at levere skivbåde af høj kvalitet, piedestaler og brugerdefinerede wafer-bærere i lodrette/søjle- og vandrette konfigurationer for at imødekomme forskellige krav til halvlederprocesser. Som en førende producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm er vores siliciumcarbid keramiske waferbåd favoriseret af de europæiske og amerikanske markeder for deres høje omkostningseffektivitet og fremragende kvalitet og bruges i vid udstrækning i avancerede halvlederproduktionsprocesser. Vetek Semiconductor er forpligtet til at etablere langsigtede og stabile samarbejdsrelationer med globale kunder, og håber især at blive din pålidelige halvlederprocespartner i Kina.
Siliciumcarbid (SiC) Cantilever-pagaj

Siliciumcarbid (SiC) Cantilever-pagaj

Rollen af ​​siliciumcarbid (sic) cantilever -padle i halvlederindustrien er at understøtte og transportere skiver. I processer med høj temperatur, såsom diffusion og oxidation, kan sic cantilever-padle stabilt bære skivbåde og skiver uden deformation eller skade på grund af høj temperatur, hvilket sikrer processens glatte fremskridt. At gøre diffusion, oxidation og andre processer mere ensartet er afgørende for at forbedre konsistensen og udbyttet af wafer -behandling. Vetek Semiconductor bruger avanceret teknologi til at opbygge sic cantilever-padle med siliciumcarbid med høj renhed for at sikre, at skiver ikke bliver forurenet. Vetek Semiconductor ser frem til langvarigt samarbejde med dig om siliciumcarbid (sic) cantilever paddle-produkter.
Kvartsdigel

Kvartsdigel

VeTek Semiconductor er en førende leverandør og producent af kvartsdigel i Kina. de kvartsdigler, vi producerer, bruges hovedsageligt i halvleder- og fotovoltaiske felter. De har egenskaberne renlighed og høj temperaturbestandighed. Og vores kvartsdigel til halvledere understøtter produktionsprocesserne for siliciumstangstrækning, lastning og losning af polysiliciumråmaterialer i halvledersiliciumwaferproduktionsprocessen og er vigtige forbrugsstoffer til siliciumwaferproduktion. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Silicium carbide wafer bærer

Silicium carbide wafer bærer

Som en professionel leverandør af siliciumcarbid Wafer Carrier i Kina er Vetek Semiconductor Sic Wafer Carrier et værktøj, der er specielt brugt til håndtering og behandling af halvlederskiver, der spiller en uerstattelig rolle i halvlederwafer -processen. Velkommen til din yderligere konsultation.
Silikone piedestal

Silikone piedestal

VeTek Semiconductor Silicon Piedestal er en nøglekomponent i halvlederdiffusions- og oxidationsprocesser. Som en dedikeret platform til at transportere siliciumbåde i højtemperaturovne har Silicon Piedestal mange unikke fordele, herunder forbedret temperaturensartethed, optimeret waferkvalitet og forbedret ydeevne af halvlederenheder. For mere produktinformation er du velkommen til at kontakte os.
Som en professionel Siliciumcarbid keramik producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for skræddersyede tjenester til at opfylde de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Siliciumcarbid keramik fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept