Siliciumcarbidrobotarm

Veteksemicons siliciumcarbidrobotarm er en avanceret halvlederbehandlingsløsning designet specifikt til barske industrielle miljøer. Ved hjælp af avanceret siliciumkarbidteknologi med høj renhed demonstrerer den enestående stabilitet og holdbarhed i høje temperaturer, ætsende miljøer og ultrahøj vakuumbetingelser. Som en nøglekomponent i Wafer -håndtering, ætsning og deponeringsprocesser forbedrer vores robotarm markant produktiviteten og reducerer vedligeholdelsesomkostningerne markant og reducerer vedligeholdelsesomkostninger.

Ⅰ. Tekniske parametre

Ⅱ. Veteksemicon silicium carbide robot arm kernefordele

1. ekstrem miljøtolerance

Vores robotarm bruger en unik formuleret SIC-belægning, der gennemgår flere afsætningsaflejringsprocesser med høj temperatur, hvilket gør det muligt for den at opretholde strukturel integritet ved vedvarende temperaturer på 1500 ° C og effektivt modstå korrosion fra plasma-bombardement og stærk syre- og alkaliske miljøer. Dette adresserer grundlæggende smerterne i traditionelle materialer, der er tilbøjelige til aldring og har en kort levetid under ekstreme arbejdsforhold.

2. Fremragende mekaniske egenskaber

Ved at anvende en sammensat struktur af grafitsubstrat og SIC -belægning har vi opnået en stivhed, der langt overstiger metalmaterialer, mens vi sikrer, at armen er ekstremt let. Dette design sikrer, at deformationen af ​​robotarmen er ekstremt lille under højhastigheds-frem- og tilbagegående bevægelse, hvilket effektivt undertrykker jitter og derved styrer den gentagne positioneringsnøjagtighed inden for ± 0,02 mm, hvilket sikrer sikker transmission af præcisionsskiver.

3. ultrahøj renlighed

Vi forstår, at partikelformet forurening er den største dræber af udbyttet. Derfor gennemgår hver robotarm præcisionspolering og specialiseret overfladebehandling, hvilket resulterer i en overfladefremhed RA på mindre end 0,1μm. Belægningen klæber sikkert og forhindrer nogen risiko for skrælning. Vores produkter er 100% renlighedstestet, der fuldt ud opfylder krav til ultrahøj renrum og klar til brug i avancerede produktionslinjer.

4. lang levetid

Takket være SICs iboende hårdhed på 3000 HV og fremragende slidstyrke, oplever vores robotarme minimal ydelsesnedbrydning, selv efter titusinder af bevægelsescyklusser. Deres levetid er flere gange den for almindelige keramiske eller aluminiumslegeringskomponenter, hvilket reducerer nedetid markant til udskiftning og vedligeholdelse, hvilket leverer betydelig samlet omkostningseffektivitet for vores kunder.

Ⅲ. Hovedapplikationsfelter

Veteksemicon Silicon Carbide Robot Arm 'Ecological Chain -verifikation dækker råvarer til produktion, har passeret international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed i halvlederen og nye energifelter. Velkommen til at konsultere os når som helst.