Vetek Semiconductors sic cantilever padle bruges i varmebehandlingsovne til håndtering og understøttende waferbåde. Den høje temperaturstabilitet og den høje termiske ledningsevne af SIC -materiale sikrer høj effektivitet og pålidelighed i halvlederforarbejdningsprocessen. Vi er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet til konkurrencedygtige priser og ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Du er velkommen til at komme til vores Factory Vetek Semiconductor for at købe den seneste salg, lave pris og sic cantilever-padle af høj kvalitet. Vi ser frem til at samarbejde med dig.
Vetek Semiconductors sic cantilever padle -funktioner:
Højtemperaturstabilitet: I stand til at opretholde sin form og struktur ved høje temperaturer, velegnet til højtemperaturbehandlingsprocesser.
Korrosionsbestandighed: Fremragende korrosionsbestandighed over for en række kemikalier og gasser.
Høj styrke og stivhed: Giver pålidelig støtte for at forhindre deformation og beskadigelse.
Fordele ved Vetek Semiconductors sic cantilever padle:
Høj præcision: Høj behandlingsnøjagtighed sikrer stabil drift i automatiseret udstyr.
Lav
Høje mekaniske egenskaber: Kan modstå barske arbejdsmiljøer med høje temperaturer og høje tryk.
Specifikke applikationer af Sic Cantilever -padle og dets applikationsprincip
Håndtering af siliciumwafer i halvlederfremstilling:
SiC Cantilever Paddle bruges hovedsageligt til at håndtere og understøtte siliciumwafers under halvlederfremstilling. Disse processer omfatter normalt rengøring, ætsning, belægning og varmebehandling. Anvendelsesprincip:
Silicon Wafer Handling: Sic cantilever padle er designet til sikkert at klemme og bevæge siliciumskiver. Under høje temperatur- og kemiske behandlingsprocesser sikrer den høje hårdhed og styrke af SIC -materiale, at siliciumskiven ikke bliver beskadiget eller deformeret.
Kemisk dampaflejring (CVD) -proces:
I CVD -processen bruges sic cantilever -padle til at bære siliciumskiver, så tynde film kan deponeres på deres overflader. Anvendelsesprincip:
I CVD-processen bruges SiC Cantilever Paddle til at fiksere siliciumwaferen i reaktionskammeret, og den gasformige precursor nedbrydes ved høj temperatur og danner en tynd film på overfladen af siliciumwaferen. SiC-materialets kemiske korrosionsbestandighed sikrer stabil drift under høje temperaturer og kemiske omgivelser.
Produktparameter for SiC Cantilever Paddle
Fysiske egenskaber ved omkrystalliseret siliciumcarbid
Ejendom
Typisk værdi
Arbejdstemperatur (°C)
1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)
SiC indhold
> 99,96%
Gratis SI -indhold
< 0,1 %
Bulkdensitet
2,60-2,70 g/cm3
Tilsyneladende porøsitet
< 16 %
Komprimeringsstyrke
> 600 MPa
Kold bøjningsstyrke
80-90 MPa (20 ° C)
Varmbøjningsstyrke
90-100 MPa (1400 ° C)
Termisk ekspansion @1500 ° C.
4,70x10-6/° C.
Termisk ledningsevne @1200 ° C.
23 w/m • k
Elastikmodul
240 GPa
Modstandsdygtighed over for termisk stød
Ekstremt god
Produktionsbutikker:
Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Vi bruger cookies til at tilbyde dig en bedre browsingoplevelse, analysere trafik på webstedet og tilpasse indhold. Ved at bruge denne side accepterer du vores brug af cookies. Privatlivspolitik