Produkter
CVD SiC belægning Epitaksi susceptor
  • CVD SiC belægning Epitaksi susceptorCVD SiC belægning Epitaksi susceptor
  • CVD SiC belægning Epitaksi susceptorCVD SiC belægning Epitaksi susceptor

CVD SiC belægning Epitaksi susceptor

Vetek Semiconductors CVD SIC Coating Epitaxy Sceptor er et præcisions-konstrueret værktøj designet til halvleder Wafer Handling and Processing. Denne sic coating -epitaxy -følsomhed spiller en vigtig rolle i at fremme væksten af ​​tynde film, epilag og andre belægninger og kan nøjagtigt kontrollere temperatur og materialegenskaber. Velkommen dine yderligere forespørgsler.

CVD sic coating epitaxy -følger er en type afMOCVD Epi Suscepter, som spiller en central rolle i CVD-reaktoren. Som en Epi Susceptor er den ikke kun en varmekilde, men giver også en stabil støtteplatform for substratet under aflejringsprocessen.SiC belægningkan effektivt reducere oxidationen og kontamineringen af ​​Graphite Susceptor i højtemperaturmiljøer og derved sikre den høje renhed af det aflejrede materiale.

Grundlæggendefysiske egenskaber af CVD SiC belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom
Typisk værdi
Krystalstruktur
FCC ß -fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Tæthed
3,21 g/cm³
Hårdhed
2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse
2~10μm
Kemisk renhed
99,99995 %
Varmekapacitet
640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur
2700 ℃
Bøjningsstyrke
415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul
430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
Termisk ledningsevne
300W · m-1· K-1
Termisk ekspansion (CTE)
4,5×10-6K-1

CVD SIC Coating Epitaxy Sceptor Produktfordele:

   ●  Præcis aflejring: Med CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor kan du opnå præcis kontrolleret aflejring af tynde film og belægninger for at opnå høj kvalitet og gentagelige resultater.

   ●  Nedsat kontaminering: Sic coating minimerer risikoen for forurening fraEpi -tilhængerBaseret grafit, der sikrer renheden af ​​det deponerede materiale.

   ●  Holdbarhed: SIC -belægning forbedrer oxidationsmodstanden og den kemiske korrosionsmodstand af grafit -epitaxy -følsomhed, hvilket giver den en længere levetid og højere pålidelighed.


Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet og konkurrencedygtige priser. Om det erHvis EPI -modtagerenEller grafit -epi -følger med høj renhed, vi kan imødekomme dine behov. Vi ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.


VeTek SemiconductorCVD SiC Coating Epitaxy Susceptor Produktbutikker:


graphite-epi-susceptormocvd-led-epi-susceptorgraphite-epitaxygraphite-epitaxy-susceptor


Hot Tags: CVD SiC belægning Epitaksi susceptor
Send forespørgsel
Kontaktoplysninger
For forespørgsler om siliciumcarbidbelægning, tantalcarbidbelægning, speciel grafit eller prisliste, bedes du efterlade din e-mail til os, og vi vil kontakte os inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept