Produkter

Veteksemicon kvartsdigler af halvlederkvalitet er vigtige forbrugsstoffer i Czochralskis enkeltkrystalvækstproces. Med ekstrem renhed og overlegen termisk stabilitet som vores kernefokus, er vi forpligtet til at give kunderne produkter af høj kvalitet, der udviser stabil ydeevne og fremragende modstandsdygtighed over for krystallisation under høje temperaturer og højtryksmiljøer. Dette sikrer kvaliteten af ​​krystalstængerne fra kilden, hvilket hjælper fremstilling af halvledersiliciumwafer med at opnå højere udbytte og bedre omkostningseffektivitet.

Veteksemicon fokusring er designet specifikt til krævende halvlederætsningsudstyr, især SiC-ætsningsapplikationer. Monteret omkring den elektrostatiske chuck (ESC), i umiddelbar nærhed af waferen, er dens primære funktion at optimere den elektromagnetiske feltfordeling i reaktionskammeret, hvilket sikrer ensartet og fokuseret plasmahandling over hele waferens overflade. En højtydende fokusring forbedrer ætsningshastighedens ensartethed betydeligt og reducerer kanteffekter, hvilket direkte øger produktudbyttet og produktionseffektiviteten.

Veteksemicon siliciumcarbidbærerplade til LED-ætsning, der er specielt designet til fremstilling af LED-chips, er et kerneforbrugsstof i ætningsprocessen. Fremstillet af præcisionssintret siliciumcarbid med høj renhed, tilbyder den enestående kemisk modstand og høj temperatur dimensionsstabilitet, der effektivt modstår korrosion fra stærke syrer, baser og plasma. Dens lave forureningsegenskaber sikrer høje udbytter for LED-epitaksiale wafere, mens dens holdbarhed, der langt overstiger traditionelle materialer, hjælper kunderne med at reducere de samlede driftsomkostninger, hvilket gør det til et pålideligt valg til at forbedre effektiviteten og konsistensen af ​​ætsningsprocessen.

Veteksemicon grafitbåd til PECVD er præcisionsbearbejdet af højrent grafit og designet specielt til plasmaforstærkede kemiske dampaflejringsprocesser. Ved at udnytte vores dybe forståelse af termiske halvledermaterialer og præcisionsbearbejdningskapaciteter tilbyder vi grafitbåde med enestående termisk stabilitet, fremragende ledningsevne og lang levetid. Disse både er designet til at sikre meget ensartet tyndfilmaflejring på tværs af hver wafer i det krævende PECVD-procesmiljø, hvilket forbedrer procesudbyttet og produktiviteten.

Den CVD TaC Coated Graphite Ring fra Veteksemicon er konstrueret til at imødekomme de ekstreme krav til behandling af halvlederwafer. Ved hjælp af Chemical Vapor Deposition (CVD) teknologi påføres en tæt og ensartet tantalcarbide (TaC) belægning på grafitsubstrater med høj renhed, hvilket opnår enestående hårdhed, slidstyrke og kemisk inerthed. I halvlederfremstilling er CVD TaC Coated Graphite Ring i vid udstrækning brugt i MOCVD, ætsning, diffusion og epitaksiale vækstkamre, der tjener som en vigtig strukturel eller tætningskomponent til waferbærere, susceptorer og afskærmningsenheder. Ser frem til din videre konsultation.

Den porøse TaC-belagte grafitring produceret af VETEK bruger et letvægts porøst grafitsubstrat og er belagt med en højrent tantalcarbidbelægning, som har fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer, ætsende gasser og plasmaerosion