Produkter

Veteksemicon grafitbåd til PECVD er præcisionsbearbejdet af højrent grafit og designet specielt til plasmaforstærkede kemiske dampaflejringsprocesser. Ved at udnytte vores dybe forståelse af termiske halvledermaterialer og præcisionsbearbejdningskapaciteter tilbyder vi grafitbåde med enestående termisk stabilitet, fremragende ledningsevne og lang levetid. Disse både er designet til at sikre meget ensartet tyndfilmaflejring på tværs af hver wafer i det krævende PECVD-procesmiljø, hvilket forbedrer procesudbyttet og produktiviteten.

Den CVD TaC Coated Graphite Ring fra Veteksemicon er konstrueret til at imødekomme de ekstreme krav til behandling af halvlederwafer. Ved hjælp af Chemical Vapor Deposition (CVD) teknologi påføres en tæt og ensartet tantalcarbide (TaC) belægning på grafitsubstrater med høj renhed, hvilket opnår enestående hårdhed, slidstyrke og kemisk inerthed. I halvlederfremstilling er CVD TaC Coated Graphite Ring i vid udstrækning brugt i MOCVD, ætsning, diffusion og epitaksiale vækstkamre, der tjener som en vigtig strukturel eller tætningskomponent til waferbærere, susceptorer og afskærmningsenheder. Ser frem til din videre konsultation.

Den porøse TaC-belagte grafitring produceret af VETEK bruger et letvægts porøst grafitsubstrat og er belagt med en højrent tantalcarbidbelægning, som har fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer, ætsende gasser og plasmaerosion

Silicon Carbide Cantilever Paddle fra Veteksemicon er konstrueret til avanceret waferbehandling i halvlederfremstilling. Den er fremstillet af højrent SiC og leverer enestående termisk stabilitet, overlegen mekanisk styrke og fremragende modstandsdygtighed over for høje temperaturer og korrosive miljøer. Disse funktioner sikrer præcis wafer-håndtering, forlænget levetid og pålidelig ydeevne i processer som MOCVD, epitaksi og diffusion. Velkommen til at konsultere.

Veteksemicon SiC Keramisk Vacuum Chuck til Wafer er konstrueret til at levere enestående præcision og pålidelighed i halvlederwaferbehandling. Fremstillet af højrent siliciumcarbid sikrer den fremragende varmeledningsevne, kemisk resistens og overlegen mekanisk styrke, hvilket gør den ideel til krævende applikationer såsom ætsning, aflejring og litografi. Dens ultra-flade overflade garanterer stabil waferstøtte, minimerer defekter og forbedrer procesudbyttet. denne vakuumpatron er det pålidelige valg til højtydende waferhåndtering.

Veteksi solid SiC fokusring forbedrer ætsningens ensartethed og processtabilitet væsentligt ved præcist at kontrollere det elektriske felt og luftstrømmen ved waferkanten. Det er meget udbredt i præcisionsætsningsprocesser for silicium, dielektrikum og sammensatte halvledermaterialer og er en nøglekomponent til at sikre masseproduktionsudbytte og langsigtet pålidelig udstyrsdrift.