Produkter

Diamond-Aluminium Composite er en avanceret metalmatrix-komposit, der kombinerer diamantens fremragende termiske ledningsevne med aluminiums lette egenskaber. Ved at inkorporere diamantpartikler i en matrix af aluminium eller aluminiumslegering, leverer materialet høj varmeledningsevne, justerbar termisk udvidelse og en gunstig balance mellem termisk ydeevne og vægt.

Diamant-siliciumcarbid (Diamond/SiC) komposit kombinerer den høje termiske ledningsevne af diamant med den strukturelle stabilitet og hårdhed af siliciumcarbid. Afhængigt af sammensætning og fremstillingsrute kan den designes til effektiv varmeoverførsel, kontrolleret termisk ekspansion og præcise termiske styringskomponenter.

Tørre plasmaætsningskamre er afhængige af præcis grænsekontrol omkring waferen for at holde plasmadensiteten, gasstrømmen og det elektriske feltfordeling stabilt. VeTek Semiconductor High Purity Quartz Etch Rings er kammerkomponenter af halvlederkvalitet fremstillet af dehydroxyleret smeltet kvarts. De definerer proceszonen ved waferkanten, hjælper med at begrænse plasma, udjævne gasflow og beskytte waferperiferien - understøtter mere ensartede ætsningshastigheder og renere profiler på tværs af 2-12 tommer silicium, SiC, GaN og safirskiver.

VeTek Semiconductors High Purity Quartz Wafer Carriers er præcisionskonstruerede armaturer i halvlederkvalitet til stabil wafer-håndtering ved højtemperatur termisk behandling, tyndfilmaflejring, våde processer og vakuumapplikationer. Fremstillet af dehydroxyleret smeltet kvarts af halvlederkvalitet (JGS2-ækvivalent) leverer disse waferbærere ultrahøj renhed, fremragende termisk stødmodstand, kemisk inerthed, lav afgasning og høj fladhed – hvilket sikrer pålidelig, kontamineringsfri understøttelse af 2-12 tommer silicium, SiC, GaN og substrater.

VeTek Semiconductor leverer højkvalitets Aluminium Nitride (AlN) enkeltkrystal wafere og substrater til næste generation af ultra-brede båndgap halvlederenheder. Med et ultrabredt båndgab på cirka 6,2 eV, enestående termisk ledningsevne, enestående elektrisk isolering og fremragende gitter- og termisk udvidelsesmatch med GaN, er AlN-wafere ideelle til højeffekt RF-enheder, højspændingseffektelektronik og dyb-ultraviolet (DUV) optoelektronik.

VeTek Semiconductors højrente kvartsovnsrør er kerneproceskammerkomponenter til termisk halvlederbehandlingsudstyr. Fremstillet af dehydroxyleret smeltet kvarts af halvlederkvalitet tjener disse rør som det forseglede reaktionshulrum i oxidationsovne, diffusionsovne, udglødningsovne og LPCVD-systemer. De leverer enestående renhed, termisk stabilitet og kemisk resistens, hvilket sikrer ensartede temperaturfelter, stabil gasstrøm og ultra-lav kontaminering til 4/6/8/12-tommers waferbehandling.