Produkter

Vores kvarts wafer både er højrulitets wafer-bæreropløsning, der er skræddersyet til halvleder, LED, solcelle og batteriproduktionsprocesser. Denne kvartsbåd er konstrueret til at udholde høje temperaturer og kemisk aggressive miljøer og har lav termisk ekspansion, fremragende elektrisk isolering og langvarig dimensionel stabilitet. Ideel til diffusion, oxidation og LPCVD -processer understøtter den præcis Wafer -justering og fås i forskellige størrelser for at imødekomme forskellige udstyrskrav.

Veteksemicon Sic Cantilever Paddles er siliciumcarbidarme med høj renhed, der er designet til waferhåndtering i vandrette diffusionsovne og epitaksiale reaktorer. Med enestående termisk ledningsevne, korrosionsmodstand og mekanisk styrke sikrer disse padler stabilitet og renlighed i krævende halvledermiljøer. Fås i brugerdefinerede størrelser og optimeret til lang levetid.

Veteksemicons SIC-blok er designet til højeffektiv slibning og udtynding af silicium- og safireskiver. Med fremragende termisk ledningsevne (≥120 w/m · K), høj termisk stødmodstand og overlegen slidstyrke (MOHS ≥9) forbedrer vores blokke processtabilitet og reducerer værktøjsændringsfrekvensen. Fås i størrelser fra 120 mm til 480 mm med tilpassede muligheder og hurtig levering for at imødekomme forskellige produktionsbehov.

Siliciumcarbidbelægningsskiveholderen af Veteksemicon er konstrueret til præcision og ydeevne i avancerede halvlederprocesser såsom MOCVD, LPCVD og høje temperaturudglødning. Med en ensartet CVD SIC-belægning sikrer denne skiveholder enestående termisk ledningsevne, kemisk inertitet og mekanisk styrke-essentiel for kontamineringsfri behandling med højt udbytte.

Veteksemicon Sic Ceramics -membraner er en type uorganisk membran og hører til faste membranmaterialer i membranseparationsteknologi. Sic -membraner fyres mod en temperatur over 2000 ℃. Partiklernes overflade er glat og rund. Der er ingen lukkede porer eller kanaler i understøttelseslaget og hvert lag. De er normalt sammensat af tre lag med forskellige porestørrelser.