EPI modtager dele

Generel produktinformation

Produkt forretningsbetingelser

✔ Anvendelse: I jagten på ultimativ ydeevne og udbytte i SiC epitaksiale processer, giver Veteksemicon EPI Susceptor fremragende termisk stabilitet og ensartethed, og bliver en nøglestøtte til at forbedre ydeevnen af ​​strøm- og RF-enheder og reducere de samlede omkostninger.

✔ Tjenester, der kan leveres: kundeapplikationsscenarieanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning. 

✔ Virksomhedsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, et team af eksperter med 20 års materialeerfaring, med R&D og produktions-, test- og verifikationskapaciteter.

Min rival EPI Contractor Part kernefordele

1. Sikre ultimativ ensartethed

I epitaksiale siliciumcarbidprocesser påvirker selv tykkelsesudsving på mikronniveau og doping-inhomogeniteter direkte ydeevnen og udbyttet af den endelige enhed. Veteksemicon EPI Susceptor opnår optimal termisk feltfordeling i reaktionskammeret gennem præcis termodynamisk simulering og strukturelt design. Vores valg af et substrat med høj termisk ledningsevne, kombineret med en unik overfladebehandlingsproces, sikrer, at temperaturforskelle på ethvert punkt på waferens overflade kontrolleres inden for et ekstremt lille område selv under højhastighedsrotation og højtemperaturmiljøer. Den direkte værdi, dette medfører, er et meget reproducerbart, batch-til-batch epitaksielt lag med fremragende ensartethed, der lægger et solidt grundlag for fremstilling af højtydende, meget konsistente kraftchips.

2. Modstå udfordringen med høje temperaturer

SiC epitaksiale processer kræver typisk langvarig drift ved temperaturer over 1500°C, hvilket udgør en alvorlig udfordring for ethvert materiale. Veteksemicon Susceptor anvender specielt behandlet isostatisk presset grafit, hvis bøjningsstyrke ved høje temperaturer og krybemodstand langt overgår almindelig grafit. Selv efter hundredvis af timers kontinuerlig termisk cykling ved høje temperaturer, bevarer vores produkt sin oprindelige geometri og mekaniske styrke, hvilket effektivt forhindrer wafer-forvridning, glidning eller forurening af proceshulrum forårsaget af bakkedeformation, hvilket grundlæggende sikrer kontinuiteten og sikkerheden af ​​produktionsaktiviteter.

3. Maksimer processtabiliteten

Produktionsafbrydelser og uplanlagt vedligeholdelse er store omkostningsdræbere i wafer-fremstilling. Veteksemicon betragter processtabilitet som en kerneværdi for Susceptor. Vores patenterede CVD SiC-belægning er tæt, ikke-porøs og har en spejllignende glat overflade. Dette reducerer ikke kun partikelafgivelsen under højtemperaturluftstrøm markant, men forsinker også signifikant adhæsionen af ​​reaktionsbiprodukter (såsom polykrystallinsk SiC) til bakkeoverfladen. Dette betyder, at dit reaktionskammer kan forblive rent i længere perioder, hvilket forlænger intervallerne mellem regelmæssig rengøring og vedligeholdelse, og derved forbedrer den samlede udstyrsudnyttelse og gennemstrømning.

4. Forlæng levetiden

Som en forbrugskomponent påvirker udskiftningsfrekvensen af ​​susceptorer direkte produktionsomkostningerne. Veteksemicon forlænger produktets levetid gennem en dobbelt teknologisk tilgang: "substratoptimering" og "belægningsforbedring." Et grafitsubstrat med høj densitet og lav porøsitet bremser effektivt indtrængning og korrosion af substratet af procesgasser; Samtidig fungerer vores tykke og ensartede SiC-belægning som en robust barriere, der væsentligt undertrykker sublimering ved høje temperaturer. Test fra den virkelige verden viser, at under de samme procesbetingelser udviser Veteksemicon-susceptorer en langsommere ydelsesforringelseshastighed og en længere effektiv levetid, hvilket resulterer i lavere driftsomkostninger pr. wafer.

5. Økologisk kæde verifikation påtegning

Min rival EPI Susceptor Part' økologiske kædeverifikation dækker råmaterialer til produktion, har bestået international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed inden for halvleder- og nye energiområder.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvidbøger eller prøvetestarrangementer, kontakt venligst vores tekniske supportteam for at udforske, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.

Vigtigste anvendelsesområder

Min rival produkter lager