Produkter
SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers
  • SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' WafersSiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers
  • SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' WafersSiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers

SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers

SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafers er en af ​​kernekomponenterne, der bruges i 6'' wafers epitaksial wafer-behandling. VeTek Semiconductor er i øjeblikket en førende producent og leverandør af SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafere i Kina. Den SiC Coated Pancake Susceptor, den giver, har fremragende egenskaber såsom høj korrosionsbestandighed, god termisk ledningsevne og god ensartethed. Ser frem til din forespørgsel.

Som den professionelle producent vil VeTek Semiconductor gerne give dig højkvalitets SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6'' wafere.

VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor til LPE PE3061S 6" wafere er et kritisk udstyr, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser.


Sic Coated Pancake Sceptor for LPE PE3061S 6 "Wafers Produktfunktioner:

Stabilitet med høj temperatur: SIC udviser fremragende stabilitet med høj temperatur og opretholder dens struktur og ydeevne i miljøer med høj temperatur.

Fremragende varmeledningsevne: SiC har enestående varmeledningsevne, hvilket muliggør hurtig og ensartet varmeoverførsel til hurtig og jævn opvarmning.

Korrosionsbestandighed: SIC besidder fremragende kemisk stabilitet, modstand mod korrosion og oxidation i forskellige opvarmningsmiljøer.

Ensartet opvarmningsfordeling: SiC-coated Wafer Carrier tilvejebringer ensartet opvarmningsfordeling, hvilket sikrer jævn temperatur på tværs af skivens overflade under opvarmning.

Velegnet til halvlederproduktion: SI Epitaxy Wafer Carrier bruges i vid udstrækning i halvlederproduktionsprocesser, især til SI-epitaksvækst og andre høje temperaturopvarmningsprocesser.


Produktfordele:

Forbedret produktionseffektivitet: SIC-coated pandekage-følger muliggør hurtig og ensartet opvarmning, reducering af opvarmningstid og forbedring af produktionseffektiviteten.

Sikret produktkvalitet: Ensartet opvarmningsfordeling sikrer konsistens under Wafer -behandling, hvilket fører til forbedret produktkvalitet.

Levethed i udvidelsesudstyr: Sic -materiale tilbyder fremragende varmemodstand og kemisk stabilitet, hvilket bidrager til en længere levetid for pandekagesceptoren.

Tilpassede løsninger: SIC-coated følsomhed, SI Epitaxy Wafer Carrier kan skræddersyes til forskellige størrelser og specifikationer baseret på kundebehov.


cvd-sic-coating-film-crystal-structure


Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC -belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystalstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
Densitet 3,21 g/cm³
Hårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99,99995 %
Varmekapacitet 640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøjningsstyrke 415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul 430 GPa 4pt Bend, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W · m-1· K-1
Termisk udvidelse (CTE) 4,5 × 10-6K-1


VeTek Semiconductor Production Shop

VeTek Semiconductor Production Shop


Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: SiC Coated Pandekage Susceptor til LPE PE3061S 6'' Wafers
Send forespørgsel
Kontaktoplysninger
For forespørgsler om siliciumcarbidbelægning, tantalcarbidbelægning, speciel grafit eller prisliste, bedes du efterlade din e-mail til os, og vi vil kontakte os inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept