Produkter
LPE SI EPI receptor sæt
  • LPE SI EPI receptor sætLPE SI EPI receptor sæt

LPE SI EPI receptor sæt

Flad susceptor og tønde susceptor er hovedformen af ​​epi susceptorer.VeTek Semiconductor er en førende LPE Si Epi Susceptor Set producent og innovator i Kina. Vi har været specialiseret i SiC coating og TaC coating i mange år.Vi tilbyder en LPE Si Epi Susceptor Sæt designet specielt til LPE PE2061S 4" wafere. Den matchende grad af grafitmateriale og SiC-belægning er god, ensartetheden er fremragende, og levetiden er lang, hvilket kan forbedre udbyttet af epitaksial lagvækst under LPE-processen (Liquid Phase Epitaxy). Vi byder dig velkommen til at besøge vores fabrik i Kina.

Vetek Semiconductor er en professionel Kina LPE, hvis EPI -aftensmadene sætter producent og leverandør. Med god kvalitet og konkurrencedygtig pris skal du være velkommen til at besøge vores fabrik og oprette langvarig samarbejde med os.


VeTeK Semiconductor LPE Si Epi Susceptor Set er et højtydende produkt skabt ved at påføre et fint lag siliciumcarbid på overfladen af ​​højt rensetisotrop grafit. Dette opnås gennem Vetek Semiconductors proprietære kemiske dampaflejringsproces (CVD).


Det halvleder's LPE Si Epi Susceptor Set er en CVD epitaksial aflejringstønde reaktor designet til at fungere pålideligt selv under udfordrende forhold. Dens enestående belægningsvedhæftning, modstandsdygtighed over for højtemperaturoxidation og korrosion gør den til et ideelt valg til barske miljøer. Desuden forhindrer dens ensartede termiske profil og laminære gasstrømningsmønster forurening, hvilket sikrer væksten af ​​epitaksiale lag af høj kvalitet.


Det tøndeformede design af vores halvlederepitaksiale reaktor optimerer gasstrømmen og sikrer, at varmen er jævnt fordelt. Denne funktion forhindrer effektivt kontaminering og diffusion af urenheder, hvilket garanterer produktionen af ​​højkvalitets epitaksiale lag på wafer-substrater.


Hos VeTek Semiconductor er vi forpligtet til at give kunderne højkvalitets og omkostningseffektive produkter. Vores LPE Si Epi Susceptor Sæt tilbyder konkurrencedygtige priser, samtidig med at den opretholder fremragende tæthed for både grafitsubstratet ogSiliciumcarbidbelægning. Denne kombination sikrer pålidelig beskyttelse i høj-temperatur og ætsende arbejdsmiljøer.


SEM DATA FOR CVD SIC FILM

SEM DATA OF CVD SIC FILM


Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC -belægning:

Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD SiC belægning
Ejendom Typisk værdi
Krystalstruktur FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret
CVD SiC belægning Densitet 3,21 g/cm³
SiC belægning Hårdhed 2500 Vickers hårdhed (500 g belastning)
Kornstørrelse 2~10μm
Kemisk renhed 99.99995%
Varmekapacitet 640 J · kg-1· K-1
Sublimeringstemperatur 2700 ℃
Bøjningsstyrke 415 MPa RT 4-punkt
Youngs modul 430 GPa 4pt Bend, 1300 ℃
Termisk ledningsevne 300W · m-1· K-1
Termisk ekspansion (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Det halvleder LPE Hvis Epi Supporter SetProduktionsbutik

SiC Graphite substrateLPE SI EPI Susceptor Set testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment

Oversigt over halvlederchip-epitaksi-industrikæden:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: LPE SI EPI receptor sæt
Send forespørgsel
Kontaktoplysninger
For forespørgsler om siliciumcarbidbelægning, tantalcarbidbelægning, speciel grafit eller prisliste, bedes du efterlade din e-mail til os, og vi vil kontakte os inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept