Produkter

Ovn til oxidation og diffusion

Ovne til oxidation og diffusion bruges inden for forskellige områder, såsom halvlederenheder, diskrete enheder, optoelektroniske enheder, kraftelektroniske enheder, solceller og storstilet fremstilling af integrerede kredsløb. De bruges til processer, herunder diffusion, oxidation, udglødning, legering og sintring af wafers.


VeTek Semiconductor er en førende producent med speciale i produktion af højrent grafit, siliciumcarbid og kvarts komponenter i oxidations- og diffusionsovne. Vi er forpligtet til at levere højkvalitets ovnkomponenter til halvleder- og fotovoltaiske industrier og er på forkant med overfladebelægningsteknologi, såsom CVD-SiC, CVD-TaC, pyrocarbon osv.


Fordelene ved VeTek Semiconductor siliciumcarbidkomponenter:

Høj temperatur modstand (op til 1600 ℃)

Fremragende varmeledningsevne og termisk stabilitet

God kemisk korrosionsbestandighed

Lav termisk udvidelseskoefficient

Høj styrke og hårdhed

Lang levetid


I oxidations- og diffusionsovne kræver mange komponenter på grund af tilstedeværelsen af ​​høje temperaturer og korrosive gasser brug af højtemperatur- og korrosionsbestandige materialer, blandt hvilke siliciumcarbid (SiC) er et almindeligt anvendt valg. Følgende er almindelige siliciumcarbidkomponenter, der findes i oxidationsovne og diffusionsovne:


Wafer båd

Siliciumcarbid wafer boat er en beholder, der bruges til at bære silicium wafers, som kan modstå høje temperaturer og ikke vil reagere med silicium wafers.

Ovnrør

Ovnrøret er kernekomponenten i diffusionsovnen, der bruges til at rumme siliciumwafers og styre reaktionsmiljøet. Siliciumcarbid ovnrør har fremragende ydeevne ved høj temperatur og korrosionsbestandighed.

Baffelplade

Bruges til at regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inde i ovnen

Termoelement beskyttelsesrør

Anvendes til at beskytte temperaturmålende termoelementer mod direkte kontakt med ætsende gasser.

Cantilever pagaj

Siliciumcarbid udkragede skovle er modstandsdygtige over for høj temperatur og korrosion og bruges til at transportere siliciumbåde eller kvartsbåde, der bærer siliciumwafers ind i diffusionsovnsrørene.

Gasinjektor

Bruges til at indføre reaktionsgas i ovnen, den skal være modstandsdygtig over for høj temperatur og korrosion.

Bådtransportør

Siliciumcarbid wafer bådholder bruges til at fiksere og understøtte silicium wafers, som har fordele såsom høj styrke, korrosionsbestandighed og god strukturel stabilitet.

Ovndør

Siliciumcarbidbelægninger eller -komponenter kan også anvendes på indersiden af ​​ovndøren.

Varmeelement

Siliciumcarbid varmeelementer er velegnede til høje temperaturer, høj effekt og kan hurtigt hæve temperaturer til over 1000 ℃.

SiC Liner

Brugt til at beskytte den indvendige væg af ovnrør, kan det hjælpe med at reducere tabet af varmeenergi og modstå barske miljøer såsom høj temperatur og højt tryk.


View as  
 
SiC keramik wafer båd

SiC keramik wafer båd

VeTek semiconductor er en førende SiC Ceramics Wafer Boat leverandør, producent og fabrik i Kina. Vores SiC Ceramics Wafer Boat er en vital komponent i avancerede waferhåndteringsprocesser, der henvender sig til solcelle-, elektronik- og halvlederindustrien. Ser frem til din konsultation.
Siliciumcarbid keramisk waferbåd

Siliciumcarbid keramisk waferbåd

Vetek Semiconductor er specialiseret i at levere skivbåde af høj kvalitet, piedestaler og brugerdefinerede wafer-bærere i lodrette/søjle- og vandrette konfigurationer for at imødekomme forskellige krav til halvlederprocesser. Som en førende producent og leverandør af siliciumcarbidbelægningsfilm er vores siliciumcarbid keramiske waferbåd favoriseret af de europæiske og amerikanske markeder for deres høje omkostningseffektivitet og fremragende kvalitet og bruges i vid udstrækning i avancerede halvlederproduktionsprocesser. Vetek Semiconductor er forpligtet til at etablere langsigtede og stabile samarbejdsrelationer med globale kunder, og håber især at blive din pålidelige halvlederprocespartner i Kina.
Siliciumcarbid (SiC) Cantilever-pagaj

Siliciumcarbid (SiC) Cantilever-pagaj

Rollen af ​​siliciumcarbid (sic) cantilever -padle i halvlederindustrien er at understøtte og transportere skiver. I processer med høj temperatur, såsom diffusion og oxidation, kan sic cantilever-padle stabilt bære skivbåde og skiver uden deformation eller skade på grund af høj temperatur, hvilket sikrer processens glatte fremskridt. At gøre diffusion, oxidation og andre processer mere ensartet er afgørende for at forbedre konsistensen og udbyttet af wafer -behandling. Vetek Semiconductor bruger avanceret teknologi til at opbygge sic cantilever-padle med siliciumcarbid med høj renhed for at sikre, at skiver ikke bliver forurenet. Vetek Semiconductor ser frem til langvarigt samarbejde med dig om siliciumcarbid (sic) cantilever paddle-produkter.
Kvartsdigel

Kvartsdigel

VeTek Semiconductor er en førende leverandør og producent af kvartsdigel i Kina. de kvartsdigler, vi producerer, bruges hovedsageligt i halvleder- og fotovoltaiske felter. De har egenskaberne renlighed og høj temperaturbestandighed. Og vores kvartsdigel til halvledere understøtter produktionsprocesserne for siliciumstangstrækning, lastning og losning af polysiliciumråmaterialer i halvledersiliciumwaferproduktionsprocessen og er vigtige forbrugsstoffer til siliciumwaferproduktion. VeTek Semiconductor ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Silicium carbide wafer bærer

Silicium carbide wafer bærer

Som en professionel leverandør af siliciumcarbid Wafer Carrier i Kina er Vetek Semiconductor Sic Wafer Carrier et værktøj, der er specielt brugt til håndtering og behandling af halvlederskiver, der spiller en uerstattelig rolle i halvlederwafer -processen. Velkommen til din yderligere konsultation.
Silikone piedestal

Silikone piedestal

VeTek Semiconductor Silicon Piedestal er en nøglekomponent i halvlederdiffusions- og oxidationsprocesser. Som en dedikeret platform til at transportere siliciumbåde i højtemperaturovne har Silicon Piedestal mange unikke fordele, herunder forbedret temperaturensartethed, optimeret waferkvalitet og forbedret ydeevne af halvlederenheder. For mere produktinformation er du velkommen til at kontakte os.
Som en professionel Ovn til oxidation og diffusion producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for skræddersyede tjenester til at opfylde de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avanceret og holdbar Ovn til oxidation og diffusion fremstillet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept