Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Oxidation og diffusionsovn

Oxidations- og diffusionsovne bruges på forskellige felter, såsom halvlederindretninger, diskrete enheder, optoelektroniske enheder, elektroniske enheder, solceller og storskala integreret kredsløbsproduktion. De bruges til processer, herunder diffusion, oxidation, annealing, legering og sintring af skivere.


Vetek Semiconductor er en førende producent, der specialiserer sig i produktion af grafit med høj renhed, siliciumcarbid og kvartskomponenter i oxidation og diffusionsovne. Vi er forpligtet til at tilvejebringe ovnekomponenter af høj kvalitet til halvlederen og fotovoltaiske industrier og er i spidsen for overfladebelægningsteknologi, såsom CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon osv.


Fordelene ved Vetek halvleder siliciumcarbidkomponenter:

● Modstand med høj temperatur (op til 1600 ℃)

● Fremragende termisk ledningsevne og termisk stabilitet

● God kemisk korrosionsbestandighed

● Lav koefficient for termisk ekspansion

● Høj styrke og hårdhed

● lang levetid


I oxidations- og diffusionsovne kræver mange komponenter på grund af tilstedeværelsen af ​​høj temperatur og ætsende gasser, at der er et almindeligt anvendt valg af høj temperatur og korrosionsbestandige materialer, blandt hvilke siliciumcarbid (SIC) er et almindeligt anvendt valg. Følgende er almindelige siliciumcarbidkomponenter, der findes i oxidationsovne og diffusionsovne:



● Wafer Boat

Siliciumcarbidskivebåd er en beholder, der bruges til at bære siliciumskiver, som kan modstå høje temperaturer og ikke reagerer med siliciumskiver.


● ovnrør

Ovnrøret er kernekomponenten i diffusionsovnen, der bruges til at rumme siliciumskiver og kontrollere reaktionsmiljøet. Siliciumcarbidovnrør har fremragende høj temperatur og korrosionsbestandighed.


● Baffelplade

Bruges til at regulere luftstrømmen og temperaturfordelingen inde i ovnen


● Termoelementbeskyttelsesrør

Bruges til at beskytte temperaturmåling af termoelementer mod direkte kontakt med ætsende gasser.


● Cantilever padle

Siliciumcarbid -cantilever -padler er resistente over for høj temperatur og korrosion og bruges til at transportere siliciumbåde eller quartz -både, der bærer siliciumskiver ind i diffusionsovnens rør.


● Gasinjektor

Bruges til at indføre reaktionsgas i ovnen, den skal være resistent over for høj temperatur og korrosion.


● Bådfirma

Siliciumcarbid wafer bådbærer bruges til at fikse og understøtte siliciumskiver, som har fordele såsom høj styrke, korrosionsbestandighed og god strukturel stabilitet.


● ovndør

Siliciumcarbidbelægninger eller komponenter kan også bruges på indersiden af ​​ovndøren.


● Varmeelement

Siliciumcarbidopvarmningselementer er egnede til høje temperaturer, høj effekt og kan hurtigt hæve temperaturerne til over 1000 ℃.


● SIC -foring

Bruges til at beskytte den indre mur af ovnrør, det kan hjælpe med at reducere tabet af varmeenergi og modstå barske miljøer såsom højt temperatur og højt tryk.

View as  
 
Sic diffusion ovn rør

Sic diffusion ovn rør

Som en førende producent og leverandør af diffusionsovnsudstyr i Kina har Vetek Semiconductor Sic Diffusion Furnace Tube signifikant høj bøjningsstyrke, fremragende modstand mod oxidation, korrosionsbestandighed, høj slidbestandighed og fremragende mekaniske egenskaber med høj temperatur. Gør det til et uundværligt udstyrsmateriale i diffusionsovnsapplikationer. Vetek Semiconductor er forpligtet til fremstilling og levering af SIC-diffusionsovn i høj kvalitet og byder dine yderligere undersøgelser velkommen.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Høj renhed SiC wafer bådholder

Høj renhed SiC wafer bådholder

VeTek Semiconductor tilbyder skræddersyet High renity SiC wafer bådholder. Den er lavet af siliciumcarbid med høj renhed og har slidser til at holde waferen på plads, hvilket forhindrer den i at glide under behandlingen. CVD SiC-belægning er også tilgængelig efter behov. Som en professionel og stærk halvlederproducent og leverandør er VeTek Semiconductors High purity SiC wafer bådholder priskonkurrencedygtig og høj kvalitet. VeTek Semiconductor ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Sic cantilever padle med høj renhed

Sic cantilever padle med høj renhed

Vetek Semiconductor er en førende producent og leverandør af Sic Cantilever Paddle Product i Kina. Sic cantilever -padler med høj renhed anvendes ofte i halvlederdiffusionsovne som skiveoverførsel eller belastningsplatforme.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Lodret søjle Wafer Boat & Pedestal

Lodret søjle Wafer Boat & Pedestal

Vetek Semiconductors lodrette søjle Wafer Boat & Pedestal er lavet af kvarts af høj renhed eller silicium carbon keramiske (SIC) materialer, med fremragende høj temperaturresistens, kemisk stabilitet og mekanisk styrke og er en uundværlig kernekomponent i halvlederproduktionsprocessen. Velkommen din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Sammenhængende waferbåd

Sammenhængende waferbåd

Vetek Semiconductor sammenhængende waferbåd er et avanceret udstyr til behandling af halvleder. Produktstrukturen er omhyggeligt designet til at sikre effektiv behandling og produktion af præcisionsskiver. Veteksemi understøtter tilpassede produktløsninger og ser frem til din konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Horisontal Sic Wafer Carrier

Horisontal Sic Wafer Carrier

VeTek Semiconductor er en professionel producent og leverandør af TaC-coated guidering, horisontal SiC wafer carrier og SiC-coated susceptorer i Kina. Vi er forpligtet til at levere perfekt teknisk support og ultimative produktløsninger til halvlederindustrien. Velkommen til at kontakte os.
Se mere >> Send forespørgsel >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.


Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.


Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.


For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.


Som professionel Oxidation og diffusionsovn producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Oxidation og diffusionsovn lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvad er en epi -epitaksial ovn? - Vetek Semiconductor
Hvad er en epi -epitaksial ovn? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Principper og teknologi til fysisk dampaflejringsbelægning (1/2) - Vetek Semiconductor
Principper og teknologi til fysisk dampaflejringsbelægning (1/2) - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvad er SIC keramik?
Hvad er SIC keramik?Se mere >>
Hvad er CVD TAC -belægning? - Veteksemi
Hvad er CVD TAC -belægning? - VeteksemiSe mere >>
Italiens LPE's 200 mm SiC epitaksiale teknologi fremskridt
Italiens LPE's 200 mm SiC epitaksiale teknologi fremskridtSe mere >>
Hvad er glasagtig kulstof？ - veteksemicon
Hvad er glasagtig kulstof？ - veteksemiconSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept