Silikone piedestal

Vetek Semiconductor Silicon Sceptor er et rent siliciumprodukt designet til at sikre temperaturstabilitet i det termiske reaktorrør under siliciumskiver -behandling, hvilket forbedrer termisk isoleringseffektivitet. Silicium Wafer -behandling er en ekstremt præcis proces, og temperaturen spiller en afgørende rolle, der direkte påvirker tykkelsen og ensartetheden af ​​siliciumskivefilmen.

Siliciumpedestalen er placeret i den nedre del af ovnens termiske reaktorrør, der understøtter siliciumwaferbærersamtidig med at den giver effektiv varmeisolering. Ved afslutningen af ​​processen afkøles det gradvist til omgivelsestemperatur sammen med siliciumwafer-bæreren.

Kernefunktioner og fordele ved Vetek Semiconductor Silicon Pedestals:

Giv stabil støtte for at sikre procesnøjagtighed

Silicium-piedestalen giver en stabil og meget varmebestandig understøttelsesplatform til siliciumbåden i ovnkammeret med høj temperatur. Denne stabilitet kan effektivt forhindre siliciumbåden i at skifte eller vippe under behandlingen og derved undgå at påvirke ensartetheden af ​​luftstrømmen eller ødelægge temperaturfordelingen, hvilket sikrer høj præcision og konsistens af processen.

Forbedre temperaturuniformitet i ovnen og forbedre skivkvaliteten

Ved at isolere siliciumbåden fra direkte kontakt med ovnbunden eller væggen kan siliciumbasen reducere varmetab forårsaget af ledning og derved opnå en mere ensartet temperaturfordeling i det termiske reaktionsrør. Dette ensartede termiske miljø er afgørende for at opnå ensartethed af wafer-diffusion og oxidlag, hvilket i høj grad forbedrer waferens overordnede kvalitet.

Optimer termisk isoleringsydelse og reducer energiforbruget

De fremragende termiske isoleringsegenskaber af siliciumbasismaterialet hjælper med at reducere varmetab i ovnkammeret og forbedrer dermed energieffektiviteten af ​​processen. Denne effektive termiske styringsmekanisme fremskynder ikke kun cyklussen for opvarmning og afkøling, men reducerer også energiforbrug og driftsomkostninger, hvilket giver en mere økonomisk løsning til halvlederfremstilling.

Specifikationer for VeTek Semiconductor Silicon Piedestal

VeTek Semiconductor Silicon Piedestal produktionsbutikker