Høj renhed SiC wafer bådholder

Veteksemi høj renhed Sic Wafer Boat Carrier er en vigtig lejekomponent, der bruges til udglødningsovne, diffusionsovne og andet udstyr i halvlederproduktionsprocessen. Sic Wafer -bådbærer med høj renhed er normalt lavet af siliciumcarbidmateriale med høj renhed og inkluderer hovedsageligt følgende dele:

• Bådstøttekrop: en struktur, der ligner en beslag, specielt brugt til at bæreSiliciumskivereller andre halvledermaterialer.

• Supportstruktur: Dens støttestruktur gør det muligt at bære tunge belastninger ved høje temperaturer og vil ikke deformeres eller beskadiges under højtemperaturbehandling.

Siliciumcarbidmateriale

Fysiske egenskaber vedOmkrystalliseret siliciumcarbid：

Hvis kravene til produktionsprocessen er højere, er det højere,CVD SiC belægningkan udføres på Sic Wafer -bådbærer med høj renhed for at få renheden til at nå mere end 99.99995%, hvilket forbedrer dens høje temperaturresistens yderligere.

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SIC -belægning:

Under højtemperaturbehandling muliggør High purity SiC wafer bådholderen, at siliciumwaferen opvarmes jævnt for at undgå lokal overophedning. Derudover gør siliciumcarbidmaterialets høje temperaturbestandighed det muligt at opretholde strukturel stabilitet ved temperaturer på 1200°C eller endnu højere.

Under diffusions- eller udglødningsprocessen arbejder cantilever-pagajen og High purity SiC wafer-bådholderen sammen. Decantilever padleskubber langsomt den høje renhed Sic Wafer Boat Carrier, der bærer siliciumskiven ind i ovnkammeret og stopper den i en udpeget position til behandling. 

High purity SiC wafer bådholderen bevarer kontakten med silicium waferen og er fikseret i en bestemt position under varmebehandlingsprocessen, mens cantilever pagajen hjælper med at holde hele strukturen i den rigtige position og samtidig sikre ensartet temperatur.

Den høje renhed Sic Wafer Boat Carrier og Cantilever -padlen fungerer sammen for at sikre nøjagtigheden og stabiliteten af ​​den høje temperaturproces.

Det halvledergiver dig skræddersyet SiC-wafer-bådholder med høj renhed efter dine behov. Ser frem til din forespørgsel.

Det halvlederForretninger med høj renhed SiC wafer bådtransportører: