Sic cantilever padle med høj renhed

Sic Cantilever -padle med høj renhed er en nøglekomponent, der bruges i halvlederforarbejdningsudstyr. Produktet er lavet af siliciumcarbidmateriale med høj renhed.  Kunder kan frit vælge sintret sic -materiale eller omkrystaleret SIC -materiale. Ved hjælp af dets fremragende egenskaber ved høj renhed, høj termisk stabilitet og korrosionsbestandighed er den vidt brugt i processer såsom waferoverførsel, understøttelse og høj temperaturbehandling, hvilket giver pålidelig garanti for at sikre procesnøjagtighed og produktkvalitet.

Sic Cantilever -padle med høj renhed spiller følgende specifikke roller i halvlederforarbejdningsprocessen:

Wafer Transfer: Sic cantilever-padle med høj renhed bruges normalt som en skiveoverførselsindretning i høj temperaturdiffusion eller oxidationsovne. Dens høje hårdhed gør det slidbestandigt og ikke let at deformere under langvarig brug og kan sikre, at skiven forbliver nøjagtigt placeret under overførselsprocessen. Kombineret med sin høje temperatur og korrosionsmodstand kan den med sikkerhed overføre skiver ind og ud af ovnrøret i miljøer med høj temperatur uden at forårsage forurening eller skade på skiverne.

Wafer support: SIC -materiale har en lav koefficient for termisk ekspansion, hvilket betyder, at dens størrelse ændres mindre, når temperaturen ændres, hvilket hjælper med at opretholde præcis kontrol i processen. I kemisk dampaflejring (CVD) eller fysisk dampaflejringsprocesser (PVD) -processer bruges SIC Cantilever -padle til at understøtte og fastgøre skiven for at sikre, at skiven forbliver stabil og flad under deponeringsprocessen, hvilket forbedrer filmens ensartethed og kvalitet.

Anvendelse af processer med høj temperatur: Sic cantilever padle har fremragende termisk stabilitet og kan modstå temperaturer på op til 1600 ° C. Derfor er dette produkt i vid udstrækning brugt i udglødning af høj temperatur, oxidation, diffusion og andre processer.

Grundlæggende fysiske egenskaber ved sic cantilever padle med høj renhed:

Sic cantilever padle med høj renhedbutikker:

Oversigt over Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: