Siliciumcarbid sic wafer båd

Veteksemicon Sic Wafer Boat er en kerneselskab designet specifikt til høje temperatur halvlederprocesser. Ved anvendelse af høj-renhed erostatisk presset grafit som dets substrat, anvender dette produkt patenteret kemisk dampaflejringsteknologi til at danne en tæt, ikke-porøs siliciumcarbidbeskyttelseslag på overfladen.

Dette lag kombinerer problemfrit den fremragende termiske ledningsevne af grafit med den ekstraordinære korrosionsmodstand af siliciumcarbid. Den strenge kontrollerede belægning opnår en tykkelse på 80-120μm, hvilket effektivt modstår korrosion fra forskellige sure og alkaliske atmosfærer, hvilket reducerer risikoen for metalforurening markant. Det opretholder strukturel stabilitet og dimensionel integritet, selv i miljøer med høj temperatur, hvilket giver pålidelig beskyttelse og støtte til skiver under kritiske processer, såsom oxidation, diffusion og epitaksial vækst, hvilket effektivt forlænger skivens levetid med mere end tre gange den af ​​konventionelle grafitbåde.

Ⅰ. Tekniske parametre

Ⅱ. Veteksemicon Sic Wafer Boat Core fordele

• Fremragende korrosionsbestandighed

SIC-belægningen på Veteksemicon Wafer-båden deponeres ved hjælp af vores proprietære CVD-proces med høj temperatur, hvilket resulterer i en tæt, ensartet struktur, der er helt fri for porer og revner. Denne solide barriere isolerer effektivt skiverne fra ovnmiljøet. Stærke oxiderende atmosfærer, fluorerede forbindelser og andre ætsende gasser er uigennemtrængelige for dette beskyttende lag. Dette betyder, at dine skiver er beskyttet mod forurening, mens selve båden forbliver intakt gennem gentagne ekstreme processer, der markant forlænger dens levetid.

• Ultrahøj renhedsmaterialer

Vi forstår, at selv den mindste forurening kan gøre en hel batch af skiver ubrugelig. Derfor kontrollerer veteksemicon nøje råvarer ved anvendelse af importeret isostatisk presset grafit med en renhed, der overstiger 99,9995% som et substrat. SIC -belægningen, der er deponeret på dette underlag, opnår også 99,999% renhed med kritiske urenheder som natrium, kalium, jern og tungmetaller, der holdes til ekstremt lave niveauer (PPB). Denne næsten intrinsiske renhed sikrer, at der ikke frigives forurenende stoffer ved høje temperaturer, hvilket grundlæggende eliminerer risikoen for nedbrydning af enhedens ydeevne på grund af bærerrelaterede problemer.

• Fremragende termisk stabilitet

Halvlederfremstilling kræver ekstremt konsistente termiske processer. Veteksemicon Wafer Boat's koefficient for termisk ekspansion er omhyggeligt designet til at matche den af ​​siliciumskiver nøje. Under hurtig opvarmning og afkøling bevæger båden og skiven sig synkroniseret, hvilket reducerer risikoen for gitterdefekter og vridning forårsaget af termisk stress markant. Det kan modstå kontinuerlige driftstemperaturer op til 1600 ℃, hvilket opretholder fremragende mekanisk styrke og dimensionel stabilitet, selv ved disse høje temperaturer. Dette sikrer gentagelighed og pålidelighed i enhver proceskørsel, hvilket giver et solidt fundament for tolerancekontrol i chipfremstilling.

• Holdbar mekanisk styrke

Værdien af ​​vores produkter ligger ikke kun i den indledende investering, men også i de langsigtede omkostninger til ejerskab. Sammenlignet med traditionelle kvarts- eller grafitkomponenter tilbyder Veteksemicon Sic Wafer Boats enestående slid- og påvirkningsmodstand. Deres høje overfladehårdhed modstår ridser og snavs under håndtering og rengøring. Denne sejhed gør det muligt for dem let at modstå over 200 høje temperaturprocescyklusser og nødvendige rengøringsprocedurer, hvilket reducerer indkøbsomkostninger, lageromkostninger og udstyrs nedetid, der er forbundet med hyppig udskiftning af komponenter.

• Ecological Chain -verifikation påtegning

Veteksemicon Sic Wafer Boat 'Ecological Chain -verifikation dækker råmaterialer til produktion, har passeret international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed i halvlederen og nye energifelter.

Ⅲ. Hovedapplikationsfelter

For detaljerede tekniske specifikationer, hvide papirer eller prøveforsøgsordninger, kontakt vores tekniske supportteam for at undersøge, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.

Veteksemicon Products Warehouse