Fra fremstillingsprocessen med elektrostatiske sugekopper til masseproduktionsproducenter

Dechuck -princippet omElektrostatisk chucker en vigtig del af dens arbejdsgang, der involverer eliminering af elektrostatisk kraft og udgivelsesmekanismer for skive. Følgende er en detaljeret analyse:

DeChucks kerne er at eliminere eller neutralisere den elektrostatiske kraft, der adsorberes på skiven, og de specifikke metoder inkluderer:

YouDaoPlaceHolder0 afskærer strømmen

Stop med at anvende en jævnstrømspænding på elektroden for gradvist for at eliminere det elektriske felt.

YouDaoPlaceHolder0 omvendt spænding eller gasinjektion ‌

Nogle systemer anvender omvendt spænding eller introducerer inerte gasser (som han, N₂) for at fremskynde ladningsneutralisering eller fysisk adskillelse.

Lad os sammenligne de professionelle teknikker til ESC -produktion og først se, om virksomheden kan nå en sådan skala.

CAE -analyseteknologi, pladefunktionelle materialer, elektrodesign, analyseteknologi, kølekaneteknologi, varmelegeme -designteknologi, seniorpersonale i halvlederudstyr.

Japanske og sydkoreanske virksomheder skal være fuldt bemandet med så relevant personale. Hvis ikke, er der ingen grund til at tale om virksomhedens teknologi.

Chuck -teknologien, elektroder, diske og endda han flowprincippet er endnu ikke blevet afklaret. Lad os lave en grov elektrostatisk sugekop. Sådanne virksomheder overføres direkte. De bruges dybest set til at tømme investorernes penge. Dette er det grundlæggende niveau for at vide hvordan. Investorer bør også opgive et firma, der spiller med kortspil og ikke har nogen ansatte med over 10 års erfaring med ætsning af udstyr, fordi dette ikke er et firma, der gør praktiske ting.

Når det kommer til pulverfyring i branchen, er alle i det samme felt. Hver har sin egen unikke formel. Hvilken har ikke styrken til at være udstyret med sintrede keramiske overflader? Investorer kan også videregive disse konfigurationer eller virksomheder, der ikke fuldt ud har forstået dem, fordi deres grundlæggende logik er den samme: de sigter mod at tjene penge, ikke at udvikle produkter.

Med hensyn til reparation bør mange indenlandske virksomheder have de tilsvarende muligheder for L1 til L3 nu. Selv hvis kapaciteterne mangler lidt, kan L1 stadig håndtere det. For L3 og derover kan den enten ikke repareres, eller det kan underleveres. Under alle omstændigheder er der stadig en måde at reparere det på.

L1 -reparationsreparation, forbedring af overfladen ruhed/fladhedsforbedring/bump regenerering.

L2-reparation: Fælleslagreparation, rebonding af metalbase og keramisk disk/genfyldning af det fælles lag.

L3 -reparation Keramisk diskudskiftning, keramisk diskfremstilling/rebonding af metalbase og keramisk disk.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Virksomheden har en førende position i design og produktion af indenlandske elektrostatiske chucks og udstyr baseret på elektrostatiske chucks som kerneteknologi. På nuværende tidspunkt har Haituo-innovation opnået kommerciel produktion af elektrostatiske sugekopper og har afsluttet leveringen af ​​4-tommer til 12-tommer halvleder Fab Electrostatic Chucks.

Beijing Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

De elektrostatiske sugekopper, der uafhængigt er udviklet af virksomheden, overholder de relevante standarder og behandlingKrav fra halvlederindustrien. De 12-tommer PVD-aluminiumnitridelektrostatiske sugekopper, der er udviklet i det tidlige stadium, har til en vis grad brudt det langsigtede monopol af udenlandske producenter inden for dette produktfelt. På nuværende tidspunkt har Huazhuo Jingke anvendt den relaterede teknologi til elektrostatiske sugekopper til produktproduktion og opnået lille masseproduktion. Det kan også levere tilpassede produkter til kunder.

Grundlagt i 2016 er en førende udbyder af avancerede belægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores grundlægger, en tidligere ekspert fra det kinesiske Academy of Sciences 'Institute of Materials, etablerede virksomheden med fokus på at udvikle avancerede løsninger til branchen.

Vores vigtigste produkttilbud inkluderer CVD-siliciumcarbid (SIC) belægninger, tantalcarbid (TAC) belægninger, bulk SIC, SIC-pulvere og SIC-materialer med høj renhed. De vigtigste produkter er SIC -coated grafit -følsomhed, forvarmningsringe, TAC -coated omdirigeringsring, halvmon -dele osv., Renheden er under 5 ppm, kan imødekomme kundens krav.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

De elektrostatiske Suge Cup -produkter, der er udviklet af det, har præstationsindikatorer, der kan imødekomme kravene fra chipfremstillingsvirksomheder. De har fremragende egenskaber såsom kontrollerbar temperatur, ensartet adsorptionskraft, ingen ridser eller rynker under adsorption og ingen kantekskluderingseffekt på skiver. De er blevet certificeret af førende indenlandske halvlederindustri -virksomheder som Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics og North China Innovation og har opnået salg. Det har brudt monopolet for udenlandske producenter inden for dette produktfelt.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

I 2022 foretog virksomheden strategiske træk inden for præcisionskeramiske komponenter og opnåede lokaliseringen af ​​meget tekniske præcisionsdele, såsom varmeplader og elektrostatiske chucks. De grundlæggende tekniske indikatorer for de keramiske opvarmningsplader udviklet af Zhongci Electronics har nået niveauet for lignende internationale produkter og er blevet verificeret af brugere. De er blevet anvendt i batches i nøgleindføringsudstyr. Keramiske opvarmningsplader er blevet leveret i bulk, og elektrostatiske chucks er blevet sendt til prøvetest.