Produkter

Halfmoonen er en grafitkomponent, der bruges inde i LPE SiC-reaktorer, hovedsageligt installeret omkring kammerets varme zone. Selvom det ikke kommer i direkte kontakt med waferen, spiller det stadig en rolle i gasstrømningsstabilitet og reaktordrift under epitaksial vækst. For at håndtere høje temperaturer og reaktive procesforhold er komponenten normalt beskyttet med CVD SiC-coating, mens TaC-coating også er tilgængelig til nogle applikationer. VETEK leverer også grafitfiltisolering og andre coatede grafitdele til SiC-epitaksisystemer.

Den 8-tommer SiC epi-topring er en hardwaredel til halvlederreaktorer. Det virker inde i Si/SiC-epitaksi og MOCVD/CVD-systemer. Denne ring stabiliserer varmen inde i kammeret. Det styrer også strømmen af ​​gasser. Materialet er CVD siliciumcarbid af høj renhed. Den har ikke de udgasningsproblemer med grafit. Det reducerer også partikelforurening under produktionen. Vi glæder os over dine henvendelser.

VETEK har udviklet vores bløde kulfiberfilt ved hjælp af en kombination af præcisionskardning og luftstråleteknologi. vi kan garantere en meget ensartet fiberstruktur i hele materialet. Den er bygget til at modstå den intense varme fra industrielle ovne, mens den forbliver utrolig let. Med en så lav termisk masse og en fleksibel tekstur er den nem at installere og passer tæt ind i ovnhjørner, hvilket hjælper med at maksimere energieffektiviteten i hver cyklus.

Kvaliteten af ​​det oprindelige kildemateriale er den primære faktor, der begrænser waferudbyttet i produktionen af ​​SiC-enkeltkrystaller. VETEKs 7N High-Purity CVD SiC Bulk tilbyder et polykrystallinsk højdensitetsalternativ til traditionelle pulvere, specielt udviklet til Physical Vapor Transport (PVT). Ved at bruge en bulk CVD-form eliminerer vi almindelige vækstdefekter og forbedrer ovnens gennemløb betydeligt. Ser frem til din forespørgsel.

I avanceret fremstilling som Diffusion, Oxidation eller LPCVD er waferbåden ikke kun en holder – den er en kritisk del af det termiske miljø. Ved temperaturer, der rammer 1000°C til 1400°C, svigter standardmaterialer ofte på grund af vridning eller udgasning. VETEKs SiC-on-SiC-løsning (substrat med høj renhed med en tæt CVD-belægning) er designet specifikt til at stabilisere disse højvarme-variabler.

De høje temperaturer og kemisk reaktive miljøer i MOCVD, beskyttelsen af ​​reaktionskammeret og præcisionen af ​​processtyring er altafgørende. VETEK leverer premium Opaque (Mælkehvid) Quartz-komponenter, specielt designet til at fungere som "cleanroom" og "precision gate" i dit halvlederudstyr. Disse komponenter tilbyder en omkostningseffektiv, men højtydende løsning til håndtering af termisk stråling og forebyggelse af kontaminering.