Tredelte grafitdigler

Nøglefunktioner
· Isostatisk grafit med høj renhed med askeindhold ≤5 ppm efter oprensning.

· Modulopbygget design i tre dele minimerer termisk stress og forlænger levetiden.

· Fremragende varmeledningsevne til stabil temperaturfordeling.

· Enestående termisk stødmodstand under gentagen opvarmning og afkøling.

· Kompatibel med valgfri CVD SiC, TaC og PyC belægninger.

· Præcisions CNC-bearbejdning sikrer snævre dimensionelle tolerancer.

· Brugerdefinerede størrelser og strukturer tilgængelige i henhold til kundens tegninger.

Specifikationer

Ansøgninger
· PVT SiC krystalvækst

· Halvleder termiske feltsystemer

· Krystalvækstovne

· Vakuumovne med høj temperatur

· Sammensat halvlederkrystalvækst

· Halvleder R&D udstyr

Hvorfor arbejde med VETEK?

· Komplet egen produktion fra grafitrensning til belægning.

· Avanceret CNC-bearbejdning og kvalitetskontrol i halvlederkvalitet.

· Valgfri SiC-, TaC- og PyC-belægningsteknologier.

· Specialfremstilling baseret på tegninger eller udstyrsmodeller.

· Stabil global forsyning og pålidelig teknisk support.