Produkter

Veteksi solid SiC fokusring forbedrer ætsningens ensartethed og processtabilitet væsentligt ved præcist at kontrollere det elektriske felt og luftstrømmen ved waferkanten. Det er meget udbredt i præcisionsætsningsprocesser for silicium, dielektrikum og sammensatte halvledermaterialer og er en nøglekomponent til at sikre masseproduktionsudbytte og langsigtet pålidelig udstyrsdrift.

I de kritiske trin af waferrensning, ætsning og vådætsning er et kvartsbad med høj renhed mere end blot en beholder; det er den første forsvarslinje for processucces. Metalionkontamination, termisk chok-revnedannelse, kemisk angreb og partikelrester er skjulte årsager til udbyttesvingninger. Veteksemi er dybt forankret i kvarts af halvlederkvalitet. Hvert kvartsbad, vi fremstiller, er designet til at give kompromisløs pålidelighed og renlighed til dine banebrydende processer.

Vores siliciumcarbid (SIC) robotarm er designet til højtydende wafer-håndtering i avanceret halvlederproduktion. Denne robotararm er lavet af siliciumcarbid med høj renhed og tilbyder enestående modstand mod høje temperaturer, plasmakorrosion og kemisk angreb, hvilket sikrer pålidelig drift i krævende rengøringsmiljøer. Dens ekstraordinære mekaniske styrke og dimensionelle stabilitet muliggør præcis wafer -håndtering, mens den minimerer kontamineringsrisici, hvilket gør det til et ideelt valg for MOCVD, epitaxy, ionimplantation og andre kritiske wafer -håndteringsapplikationer. Vi byder velkommen til dine forespørgsler.

Veteksemicon er specialiseret i at levere tilpassede kvarts wafer bådprodukter til halvlederindustrien. Vores produktlinie inkluderer halvleder smeltede kvartsglasbåde, kvartsdiffusionsbåde og tilpassede kvartsglødningsbåde, der er vidt brugt i højpræcisionsprocesser såsom diffusion, oxidation og CVD. Veteksemicon insisterer på at levere omfattende tilpassede tjenester af produkter og teknologier. Ser frem til din yderligere konsultation.

Veteksemicon Sic Wafer-både er vidt brugt i kritiske høje temperaturprocesser i fremstilling af halvleder, der tjener som pålidelige bærere til oxidation, diffusion og annealingsprocesser til siliciumbaserede integrerede kredsløb. De udmærker sig også i den tredje generation af halvledersektoren, perfekt egnet til krævende processer såsom epitaksial vækst (EPI) og metalorganisk kemisk dampaflejring (MOCVD) til SIC- og GAN-strømenheder. De understøtter også høj temperaturfremstilling af højeffektiv solceller i den fotovoltaiske industri. Ser frem til din yderligere konsultation.

CVD SIC-coatet grafitbruserhoved fra Veteksemicon er en højtydende komponent, der er specielt designet til halvlederkemisk dampaflejringsprocesser (CVD). Fremstillet fra grafit med høj renhed og beskyttet med en kemisk dampaflejring (CVD) siliciumcarbid (SIC) belægning, giver dette brusehoved enestående holdbarhed, termisk stabilitet og modstand mod ætsende procesgasser. Ser frem til din yderligere konsultation.