8-tommer CVD-siliciumcarbid (SiC) belagt epitaxi topring

Nøglefunktioner af 8 tommer SiC Epi Top Ring

● Høj renhed: 99,9995 % minimum. Metal vil ikke migrere ind i epi-laget. Dette holder wafer-bærerkoncentrationen, hvor den skal være.

● Partikelundertrykkelse: CVD-strukturen er tæt. Ingen porer. Det vil ikke udskille partikler, mens værktøjet kører. Fabrikker ser bedre udbytte på denne måde.

● Varmebestandighed: Ringen forbliver stabil ved 1500°C. Lav CTE (termisk ekspansion) betyder ingen vridning under hurtige opvarmnings-/afkølingscyklusser.

● Kemisk stabilitet: Det faste CVD SiC modstår H2- og HCl-gasser. Det modstår også NH3. Den har ingen belægning, der kan skrælles af. Det nedbrydes ikke i barske CVD-miljøer.

● Komponentlevetid: Overfladen er ekstrem hård. Det overlever gentagen HF/HCl kemisk rengøring. Dette reducerer udskiftningsfrekvensen. Det sænker også de samlede ejeromkostninger for fabrikken.

Tekniske specifikationer

Ensartetheden af ​​belægningstykkelse mellem batches kontrolleres ved 10um

Ansøgninger

CVD SiC epi topringen er meget udbredt i:

● Siliciumepitaksi (Si Epi) reaktorer

● Siliciumcarbidepitaksi (SiC Epi)

● MOCVD-systemer

● CVD-aflejringsudstyr

Sædvanligvis parret med:

● Susceptorer

● Waferholdere

● Forvarm ringe

● Epitaksereaktorer

Hvorfor bruge VETEK SiC Epi Top Ring?

● Fuld produktionskapacitet: 

Fra rensning af råmaterialer til præcisionsbearbejdning og CVD-belægning kontrollerer VETEK hele produktionsprocessen for at sikre ensartet halvlederkvalitet.

● Høj nøjagtighed: 

Vi bruger bearbejdning på mikronniveau. CVD-tykkelsen er meget ensartet. Dette gør, at hver ring fungerer nøjagtigt på samme måde.

FAQ

(1) Hvad gør SiC epi-topringen?

Ringen styrer varme- og gasstrømmen. Det sørger for, at den tynde film vokser jævnt hen over waferen.

(2) Hvorfor er CVD SiC bedre end grafit?

Grafit er porøst. Grafit har porer og frigiver gas. Solid CVD SiC er tæt og ren. Det holder meget længere i ætsende værktøj.

(3). Kan den 8 tommer SiC topring tilpasses?

Ja. Vi bygger efter dine specifikke værktøjstegninger. Vi kan justere geometri baseret på din proces.

(4). Hvilke industrier bruger SiC epitakseringe?

De bruges hovedsageligt til fremstilling af halvledere, herunder strømenheder, RF-enheder og SiC-waferproduktion.