Produkter

Kvartsbrushovedet, også kendt som en kvartsgasfordelingsplade, er en kritisk komponent, der bruges i halvleder tyndfilmaflejringsprocesser såsom CVD (kemisk dampaflejring), PECVD (plasmaforbedret CVD) og ALD (atomlagets afsætning). Fremstillet af smeltet kvarts med høj renhed sikrer denne komponent ultra-lav kontaminering og fremragende termisk stabilitet, hvilket muliggør præcis gaslevering og ensartet filmvækst på tværs af skiveoverfladen. Ser frem til din yderligere konsultation.

Vores TAC-coatede grafitguideringe er præcisionskernekomponenter til fremstilling af halvlederskive. De har et grafitunderlag med høj renhed, der er coatet med en slidbestandig og kemisk inert tantalcarbid (TAC) belægning. De er designet til krævende processer såsom epitaksial afsætning og plasma -ætsning, og de sikrer præcis waferjustering og stabilitet, kontrollerer effektivt kontaminering og udvider komponentens levetid markant. Veteksemicon tilbyder tilpasningstjenester til perfekt at matche dit udstyr og procesbehov.

Veteksemicon Semiconductor Quartz-skærm er en vigtig komponent i metalorganisk kemisk dampaflejringssystemer (MOCVD), der spiller en afgørende rolle i optimering af tynde filmvækstprocesser. Denne produktdetaljeside fremhæver Veteksemicons højrulhedskvartskærme, designet til at forbedre ensartethed, renhed og vedligeholdelseseffektivitet af MOCVD-udstyr.

Quartz Crucible med høj renhed er essentiel kernekomponent i avancerede halvlederfremstillingsprocesser, især til anvendelser, der kræver ekstremt høj termisk stabilitet, kemisk renhed og dimensionel nøjagtighed. Veteksemicon tilbyder overlegen høje renhedskvartscrucibles designet til at imødekomme de ekstreme krav fra halvlederprocesser.

Den porøse SIC-keramiske chuck af Veteksemicon er en præcisions-konstrueret vakuumplatform designet til sikker og partikelfri waferhåndtering i avancerede halvlederprocesser såsom ætsning, ionimplantation, CMP og inspektion. Fremstillet af porøst siliciumcarbid med høj renhed, tilbyder det enestående termisk ledningsevne, kemisk resistens og mekanisk styrke. Med tilpassede porestørrelser og dimensioner leverer Veteksemicon skræddersyede løsninger til at imødekomme de strenge krav fra rent for behandlingsmiljøer.

Vores kvarts wafer både er højrulitets wafer-bæreropløsning, der er skræddersyet til halvleder, LED, solcelle og batteriproduktionsprocesser. Denne kvartsbåd er konstrueret til at udholde høje temperaturer og kemisk aggressive miljøer og har lav termisk ekspansion, fremragende elektrisk isolering og langvarig dimensionel stabilitet. Ideel til diffusion, oxidation og LPCVD -processer understøtter den præcis Wafer -justering og fås i forskellige størrelser for at imødekomme forskellige udstyrskrav.