Produkter

Veteksemicon Semiconductor Quartz-skærm er en vigtig komponent i metalorganisk kemisk dampaflejringssystemer (MOCVD), der spiller en afgørende rolle i optimering af tynde filmvækstprocesser. Denne produktdetaljeside fremhæver Veteksemicons højrulhedskvartskærme, designet til at forbedre ensartethed, renhed og vedligeholdelseseffektivitet af MOCVD-udstyr.

Quartz Crucible med høj renhed er essentiel kernekomponent i avancerede halvlederfremstillingsprocesser, især til anvendelser, der kræver ekstremt høj termisk stabilitet, kemisk renhed og dimensionel nøjagtighed. Veteksemicon tilbyder overlegen høje renhedskvartscrucibles designet til at imødekomme de ekstreme krav fra halvlederprocesser.

Den porøse SIC-keramiske chuck af Veteksemicon er en præcisions-konstrueret vakuumplatform designet til sikker og partikelfri waferhåndtering i avancerede halvlederprocesser såsom ætsning, ionimplantation, CMP og inspektion. Fremstillet af porøst siliciumcarbid med høj renhed, tilbyder det enestående termisk ledningsevne, kemisk resistens og mekanisk styrke. Med tilpassede porestørrelser og dimensioner leverer Veteksemicon skræddersyede løsninger til at imødekomme de strenge krav fra rent for behandlingsmiljøer.

Vores kvarts wafer både er højrulitets wafer-bæreropløsning, der er skræddersyet til halvleder, LED, solcelle og batteriproduktionsprocesser. Denne kvartsbåd er konstrueret til at udholde høje temperaturer og kemisk aggressive miljøer og har lav termisk ekspansion, fremragende elektrisk isolering og langvarig dimensionel stabilitet. Ideel til diffusion, oxidation og LPCVD -processer understøtter den præcis Wafer -justering og fås i forskellige størrelser for at imødekomme forskellige udstyrskrav.

Veteksemicon Sic Cantilever Paddles er siliciumcarbidarme med høj renhed, der er designet til waferhåndtering i vandrette diffusionsovne og epitaksiale reaktorer. Med enestående termisk ledningsevne, korrosionsmodstand og mekanisk styrke sikrer disse padler stabilitet og renlighed i krævende halvledermiljøer. Fås i brugerdefinerede størrelser og optimeret til lang levetid.

Veteksemicons SIC-blok er designet til højeffektiv slibning og udtynding af silicium- og safireskiver. Med fremragende termisk ledningsevne (≥120 w/m · K), høj termisk stødmodstand og overlegen slidstyrke (MOHS ≥9) forbedrer vores blokke processtabilitet og reducerer værktøjsændringsfrekvensen. Fås i størrelser fra 120 mm til 480 mm med tilpassede muligheder og hurtig levering for at imødekomme forskellige produktionsbehov.