Uigennemsigtigt kvartsskjold og lukker med høj renhed til MOCVD

1. Tekniske specifikationer

Vi leverer højpræcisionsbearbejdning baseret på dine tekniske tegninger for at sikre en perfekt pasform med dine specifikke udstyrsmodeller.

2. Kerneapplikationsfelter

● MOCVD-procesbeskyttelse: Fungerer som væsentlige interne skjolde/foringer for at beskytte reaktionsmiljøet.

● Halvlederepitaksi: Anvendes som højpræcisionsskodder til flow- og temperaturstabilisering under tyndfilmsvækst.

● Fremstilling af bredbåndshalvledere: Kompatibel med miljøer med høj efterspørgsel for GaN og andre avancerede materialer.

3. Hvorfor vælge VETEK Quartz Solutions?

● Overlegen termisk strålingsstyring: Vores mælkehvide kvarts indeholder en høj tæthed af mikrobobler, der effektivt spreder og blokerer termisk stråling ved høje temperaturer (>1000°C). Den absorberer synligt og nær-infrarødt lys fra varmeelementer og omdanner det til fjern-infrarød stråling, hvilket sikrer en meget ensartet opvarmning.
● Kontamineringskontrol og nem vedligeholdelse: Som en offer- eller udskiftelig inderforing holder Quartz Shield reaktionskammeret rent ved at forhindre biproduktaflejring på dyre kammervægge og varmelegemer. Disse dele kan regenereres gennem våd rengøring (såsom SPM+DHF-løsninger) eller nemt udskiftes for at sikre høje wafer-udbytter.
● Ekstrem kemisk resistens: VETEK-kvarts er konstrueret til at modstå hyppige termiske cyklusser og modstå korrosion fra metalorganiske stoffer (som TMGa) og hydrider (som AsH₃).
● Præcisions proceskontrol: Vores kvartsskodder opretholder høj dimensionsstabilitet under infrarød eller filamentopvarmning. Deres lave termiske inerti giver mulighed for hurtig mekanisk respons, hvilket muliggør præcis vækstkontrol på "atomniveau" og forhindrer krydskontaminering under multi-wafer eller multi-proces switching.
● Omkostningseffektivt alternativ: Til projekter med strenge budgetkrav giver vores kvartsprodukter et pålideligt indgangspunkt sammenlignet med belagt grafit, hvilket giver væsentlig beskyttelse og funktionalitet til MOCVD-systemer.