ALD Fused Quartz Piedestal

Vetek Semiconductor ALD smeltede kvarts piedestal spiller en nøglerolle i halvlederproduktionsprocessen som en støttestruktur forkvartsbåd, der bruges til at holdeWafer. Fused Quartz Piedestal hjælper med at opnå ensartet filmaflejring ved at opretholde en stabil temperatur, som direkte påvirker ydeevnen og pålideligheden af ​​halvlederenheder. Derudover sikrer Quartz Pedestal ensartet fordeling af varme og lys i proceskammeret og forbedrer derved den overordnede kvalitet af deponeringsprocessen.

ALD fusioneret kvarts piedestalmateriale fordele

Resistens med høj temperatur: Det blødgøringspunkt for smeltet kvarts piedestal er så højt som ca. 1730 ° C, og det kan modstå høj temperaturdrift på 1100 ° C til 1250 ° C i lang tid og kan udsættes for ekstreme temperaturmiljøer op til 1450 ° C i kort tid.

Fremragende korrosionsbestandighed: Sammensmeltet kvarts er meget kemisk inert over for næsten alle syrer undtagen flussyre. Dens syrebestandighed er 30 gange højere end keramik og 150 gange højere end rustfrit stål. Sammensmeltet kvarts er kemisk uovertruffen ved høje temperaturer, hvilket gør det til et ideelt materiale til komplekse kemiske processer.

Termisk stabilitet: Et nøglefunktion ved det smeltede kvarts -piedestalmateriale er dets ekstremt lave koefficient for termisk ekspansion. Dette betyder, at det let kan håndtere dramatiske temperatursvingninger uden at revne. F.eks. Kan smeltet silica-kvarts hurtigt opvarmes til 1100 ° C og nedsænkes direkte i koldt vand uden skader, en vigtig funktion under produktionsbetingelser med høj stress.

Strenge fremstillingsproces: Produktionsprocessen for smeltede silica -piedestaler overholder strengt standarderne af høj kvalitet. Produktionsprocessen bruger varmeformnings- og svejseprocesser, som normalt er afsluttet i et rent i klasse 10.000. Bagefter rengøres det smeltede kvartsglas piedestal grundigt med ultrapure -vand (18 MΩ) for at sikre produktrenhed og optimal ydeevne. Hvert færdigt produkt inspiceres, rengøres og pakkes nøje i en klasse 1.000 eller højere renrum for at opfylde de høje standarder for halvlederindustrien.

Uigennemsigtigt silicakvartsmateriale med høj renhed

VeTeksemi ALD Fused Quartz Pedestal bruger uigennemsigtigt kvartsmateriale med høj renhed til effektivt at isolere varme og lys. Dens fremragende varmeafskærmende og lysafskærmende egenskaber gør det muligt for den at opretholde ensartet temperaturfordeling i proceskammeret, hvilket sikrer ensartethed og konsistens af tynde.filmaflejringpå waferoverfladen.

Ansøgningsfelter

Fusionerede kvarts -piedestaler bruges i vid udstrækning inden for mange områder i halvlederindustrien på grund af deres fremragende præstation. IAtomic Layer Deposition (ALD) -proces, det understøtter præcis kontrol af filmvækst og sikrer fremskridt for halvlederenheder. I denLavtryk kemisk dampaflejring (LPCVD) proces, den termiske stabilitet og lette afskærmningsevne for høj renhedskvarts piedestal giver garantier for ensartet afsætning af tynde film og forbedrer dermed enhedsydelse og udbytte.

I diffusionsskivens proces sikrer den høje temperaturresistens og den kemiske korrosionsbestandighed af smeltet kvarts piedestal desuden pålideligheden og konsistensen af ​​halvledermaterialets dopingproces. Disse nøgleprocesser bestemmer den elektriske ydelse af halvlederenheder, og smeltede kvartsmaterialer af høj kvalitet spiller en uundværlig rolle i at opnå de bedste resultater af disse processer.

VeTek Semiconductor ALD Fused Quartz Piedestal butikker: