PZT piezoelektriske wafere (PZT på Si/SOI)

1. Teknisk arkitektur

Vores wafers har en sofistikeret flerlags stakstruktur designet til at sikre optimal vedhæftning, ledningsevne og piezoelektrisk respons under kompleks MEMS-behandling:

 ●Topelektrode (nøglelag): Pt (Platin).

● Piezolag (kernelag): PZT.

● Mellemlag: Inkluderer bufferlag, bundelektrode og adhæsionslag for at optimere kornorientering og strukturel stabilitet.

● Underlag: Kompatibel med Si eller SOI wafers.

2. Kvalitetssikring & mikrostrukturanalyse

Vi sikrer høj pålidelighed gennem streng teknisk karakterisering:

 ●SEM analyse: Scanning Electron Microscopy (SEM) billeder afslører en tæt, revnefri overflademorfologi med ensartet kornstørrelsesfordeling, ideel til MEMS-applikationer med høj pålidelighed.

 ●XRD-karakterisering: X-Ray Diffraction (XRD) mønstre bekræfter ren perovskit fase dannelse med en stærk (100) foretrukken orientering, hvilket sikrer maksimale piezoelektriske ydeevne koefficienter.

3. Tekniske specifikationer (egenskaber)

4. Kerneapplikationer

 ● Piezoelektriske mikrobearbejdede ultralydstransducere (pMUT): Højfrekvente miniaturiserede arrays til fingeraftrykssensorer, gestusgenkendelse og ultralydsradar til biler.

 ● Kommunikation: Nøgle til fremstilling af FBAR- eller SAW-filtre i 5G/6G for at opnå bredere båndbredde og lavere indsættelsestab.

 ● Akustisk MEMS: Giver kraftig transient respons til MEMS-højttalere og forbedrer Signal-to-Noise Ratio (SNR) for MEMS-mikrofoner.

 ● Præcisionsvæskekontrol: Højhastighedsvibration via d31-tilstand for præcis kontrol af dråbevolumen i inkjet-printhoveder på nanoliterskala.

 ● Medicin og skønhed (mikropumpning): Driver medicinske forstøvere eller kosmetiske ultralydspumper med høj pålidelighed og kompakt størrelse.

5. Tilpasningstjenester

Ud over standardaflejring på Si-wafere, tilbyder vi også tilpassede deponeringstjenester:

 ●Tilpasning af film og tykkelse: Afsætning af specifikke filmtyper og tilpassede tykkelser i henhold til designkrav.

 ●OEM Støberi: Accept af wafers leveret fra kunder til højkvalitets piezoelektrisk tyndfilmvækst.

 ●SOI-understøttelse: Specialiseret aflejring på SOI-wafere med følgende specifikationer: