SiC-belagt grafitsusceptor til ASM

Generel produktinformation

Produkt forretningsbetingelser

✔ Ansøgning: Veteksemicon SiC-belagt grafitsubstrat er en vigtig forbrugsvare til ASM-seriens epitaksiale udstyr. Det understøtter waferen direkte og giver et ensartet og stabilt termisk felt under højtemperaturepitaksi, hvilket gør den til en kernekomponent til at sikre højkvalitetsvækst af avancerede halvledermaterialer såsom GaN og SiC.

✔ Tjenester, der kan leveres: kundeapplikationsscenarieanalyse, matchende materialer, teknisk problemløsning. 

✔ Virksomhedsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, et team af eksperter med 20 års materialeerfaring, med R&D og produktions-, test- og verifikationskapaciteter.

Tekniske parametre

Min rival SiC-belagt grafit-susceptor til ASM-kernefordele

1. Ekstrem renhed og lav defektrate

Ved at bruge højrenhed, finpartikel-grade specialgrafitsubstrat, kombineret med vores strengt kontrollerede kemiske dampaflejringsproces (CVD)-belægningsproces, sikrer vi, at belægningen er tæt, fri for huller og fri for urenheder. Dette reducerer betydeligt risikoen for partikelforurening under epitaksialprocessen, hvilket giver et rent substratmiljø til vækst af epitaksiale lag af høj kvalitet.

2. Fremragende korrosionsbestandighed og slidstyrke

Den pyrolytiske siliciumcarbidbelægning besidder ekstrem høj hårdhed og kemisk inerthed, der effektivt modstår erosion af siliciumkilder (såsom SiH4, SiHCl3), kulstofkilder (såsom C3H8) og ætsende gasser (såsom HCl, H2) ved høje temperaturer. Dette forlænger basens vedligeholdelsescyklus betydeligt og reducerer maskinens nedetid forårsaget af udskiftning af komponenter.

3. Fremragende termisk ensartethed og stabilitet

Vi optimerede den termiske feltfordeling inden for driftstemperaturområdet gennem præcis substratstrukturdesign og belægningstykkelseskontrol. Dette udmønter sig direkte i fremragende tykkelse og resistivitetsensartethed i den epitaksiale wafer, hvilket bidrager til forbedret chipfremstillingsudbytte.

4. Fremragende belægningsvedhæftningsstyrke

Unik overfladeforbehandlings- og gradientbelægningsteknologi gør det muligt for siliciumcarbidbelægningen at danne et stærkt bindende lag med grafitsubstratet, hvilket effektivt forhindrer belægningens afskalning, afskalning eller revneproblemer, der kan opstå under langsigtede termiske cyklusser.

5. Præcis størrelse og strukturel replikering

Vi besidder modne CNC-bearbejdnings- og testkapaciteter, hvilket gør os i stand til fuldstændigt at replikere den komplekse geometri, hulrumsdimensioner og monteringsgrænseflader fra den originale base, hvilket sikrer perfekt matchning og plug-and-play-funktionalitet med kundens platform.

6. Økologisk kædeverifikationspåtegning

Min rival SiC-belagt grafitsusceptor til ASM' økologiske kædeverifikation dækker råmaterialer til produktion, har bestået international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed inden for halvleder- og nye energiområder.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvidbøger eller prøvetestarrangementer, kontakt venligst vores tekniske supportteam for at udforske, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.

Vigtigste anvendelsesområder

Min rival produkter butik