Produkter

Siliciumcarbid keramik

VeTek Semiconductor er din innovative partner inden for halvlederbehandling. Med vores omfattende portefølje af materialekombinationer af siliciumcarbidkeramik i halvlederkvalitet, komponentfremstillingskapaciteter og applikationsingeniørtjenester kan vi hjælpe dig med at overvinde betydelige udfordringer. Teknisk teknisk siliciumcarbidkeramik anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres exceptionelle materialeydelse. VeTek Semiconductors ultra-rene siliciumcarbidkeramik bruges ofte gennem hele cyklussen af ​​halvlederfremstilling og -behandling.


DIFFUSION & LPCVD BEHANDLING

VeTek Semiconductor leverer konstruerede keramiske komponenter, der er specielt designet til batchdiffusion og LPCVD-krav, herunder:

• Bafler & holdere
• Injektorer
• Liners & procesrør
• Cantilever-padler af siliciumcarbid
• Waferbåde og piedestaler


ÆTSNINGSPROCESSKOMPONENTER

Minimer kontaminering og uplanlagt vedligeholdelse med komponenter af høj renhed, der er udviklet til belastningen af ​​plasmaætsningsbehandling, herunder:

Fokus ringe

Dyser

Skjolde

Brusehoveder

Vinduer / låg

Andre brugerdefinerede komponenter


HURTIG TERMISK BEHANDLING & EPITAXIAL PROCESKOMPONENTER

VeTek Semiconductor leverer avancerede materialekomponenter, der er skræddersyet til højtemperatur termisk behandlingsapplikationer i halvlederindustrien. Disse applikationer omfatter RTP, Epi-processer, diffusion, oxidation og annealing. Vores tekniske keramik er designet til at modstå termiske stød og leverer pålidelig og ensartet ydeevne. Med VeTek Semiconductors komponenter kan halvlederproducenter opnå effektiv termisk behandling af høj kvalitet, hvilket bidrager til den overordnede succes for halvlederproduktion.

• Diffusorer

• Isolatorer

• Susceptorer

• Andre brugerdefinerede termiske komponenter


Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid
Ejendom Typisk værdi
Arbejdstemperatur (°C) 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)
SiC / SiC indhold > 99,96 %
Si / Gratis Si indhold < 0,1 %
Bulkdensitet 2,60-2,70 g/cm3
Tilsyneladende porøsitet < 16 %
Kompressionsstyrke > 600 MPa
Koldbøjningsstyrke 80-90 MPa (20°C)
Varmbøjningsstyrke 90-100 MPa (1400°C)
Termisk ekspansion ved 1500°C 4,70 10-6/°C
Termisk ledningsevne @1200°C 23  W/m•K
Elastikmodul 240 GPa
Modstandsdygtighed over for termisk stød Yderst god


View as  
 
Høj ren siliciumcarbid wafer bærer

Høj ren siliciumcarbid wafer bærer

Vetek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier er vigtige komponenter i halvlederforarbejdning, designet til sikkert at holde og transportere delikate siliciumskiver, der spiller en nøglerolle i alle faser af fremstilling. Vetek Semiconductors High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier er omhyggeligt designet og fremstillet for at sikre fremragende ydelse og pålidelighed. Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, og vi ser frem til at være din langsigtede partner i Kina. Feel gratis for at spørge os.
Silicium carbide wafer båd

Silicium carbide wafer båd

Vetek Semiconductors siliciumcarbidbåd med høj renhed er lavet af ekstremt rent siliciumcarbidmateriale med fremragende termisk stabilitet, mekanisk styrke og kemisk modstand. Siliciumkarbidbåd med høj renhed bruges i varmzone-applikationer i halvlederfremstilling, især i miljøer med høj temperatur, og spiller en vigtig rolle i at beskytte skivere, transportere materialer og opretholde stabile processer. Vetek Semiconductor vil fortsætte med at arbejde hårdt for at innovere og forbedre ydelsen af ​​siliciumkarbidbåd med høj renhed for at imødekomme de udviklende behov for halvlederproduktion. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina. Feel gratis at spørge os.
Ultra rent siliciumcarbidpulver til krystalvækst

Ultra rent siliciumcarbidpulver til krystalvækst

Vetek Semiconductor er en professionel producent og leverandør, dedikeret til at tilvejebringe ultra rent siliciumcarbidpulver af høj kvalitet til krystalvækst. Med en renhed på op til 99,999% vægt og ekstremt lave urenhedsniveauer af nitrogen, bor, aluminium og andre forurenende stoffer, er det specifikt designet til at forbedre de semi-isolerende egenskaber ved siliciumkarbid med høj renhed. Velkommen til at spørge og samarbejde med os!
Som professionel Siliciumcarbid keramik producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Siliciumcarbid keramik lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept