TAC -belægningssubser

Vetek Semiconductor's TAC Coated Sceptor ogTac coatedringArbejd sammen i LPE -siliciumcarbidepitaksialvækstreaktoren:

● Højtemperaturresistens: TheTAC -belægningSuperceptor har fremragende høj temperaturresistens, der er i stand til at modstå de ekstreme temperaturer op til 1500 ° C iLPE -reaktor. Dette sikrer, at udstyr og komponenter ikke deformeres eller bliver beskadiget under langvarig drift.

● Kemisk stabilitet: TAC -belægningsfølsomheden fungerer usædvanligt godt i det ætsende siliciumcarbidvækstmiljø, hvilket effektivt beskytter reaktorkomponenterne mod ætsende kemisk angreb og udvider derved deres levetid.

● Termisk stabilitet: TAC-coating-følgeren har god termisk stabilitet, der opretholder overflademorfologien og ruheden for at sikre ensartetheden af ​​temperaturfeltet i reaktoren, hvilket er fordelagtigt for væksten af ​​siliciumcarbidpitaksiale lag i høj kvalitet.

● Anti-kontaminering: Den glatte TAC -coatede overflade og overlegne TPD (temperaturprogrammeret desorption) ydeevne kan minimere ophobningen og adsorptionen af ​​partikler og urenheder inde i reaktoren, hvilket forhindrer kontaminering af de epitaksiale lag.

I resumé spiller den TAC-coatede følsomhed og ring en kritisk beskyttende rolle i LPE-siliciumcarbidepitaksialvækstreaktoren, hvilket sikrer den langsigtede stabile drift af udstyret og væksten af ​​den epitaksiale lag af høj kvalitet.