Produkter
Tac coated chuck
  • Tac coated chuckTac coated chuck

Tac coated chuck

Med sin høje temperaturresistens, kemisk inertitet og fremragende ydeevne er Vetek Semiconductors TAC -coatede chucks designet til halvlederovne. Vi tror, ​​at vores produkter kan bringe dig avanceret teknologi og kvalitetsproduktløsninger.

Vetek Semiconductor er en professionel leder China Tac Coated Chuck, TAC Coated Tube, TAC Coated Holder, TAC Coated Graphite Bakke Producent med høj kvalitet og rimelig pris. Velkommen til at kontakte os.

Vetek Semiconductor's TAC-coatede chucks er en integreret del af højprestationskomponenter i halvlederfremstilling. Afhænger af følgende nøgleegenskaber:


Høj vakuumintegritet: TAC Coated Chuck opretholder et højt niveau af vakuumintegritet gennem hele behandlingscyklussen, hvilket effektivt reducerer udgassing og kontaminering, hvilket sikrer renheden og kvaliteten af ​​halvledermaterialer.

Høj temperatur og kemisk modstand: TAC -belagt er ekstremt termisk og kemisk resistent, der er i stand til at fungere ved temperaturer op til 2200 ° C og modstå ætsende gasser såsom brint, ammoniak og siliciumdamp.

Udvidet udstyrs levetid: På grund af sin overlegne modstand mod slid og termisk chok kan tac coated chuck markant forlænge udstyrets levetid og reducere behovet for vedligeholdelse.

Forbedret produktionseffektivitet: Ved at reducere forurening og forbedre materialets renhed hjælper TAC -coated chuck med at forbedre produktionseffektiviteten og produktkvaliteten og reducere produktionsomkostningerne.


Derudover udviser TAC -belægning Chuck fremragende alsidighed og er i stand til at rumme en lang række halvledersubstratstørrelser og geometrier. Dets tilpasselige design gør det muligt at integrere tac-coatede chucks problemfrit i eksisterende halvlederovnsystemer, hvilket reducerer nedetid markant og maksimerer produktiviteten. Denne fleksibilitet forbedrer ikke kun udstyrskompatibilitet, men sikrer også kontinuitet og effektivitet i produktionsprocessen, hvilket giver halvlederproducenter pålidelige og effektive løsninger.

Ydelsen og tilpasningsevne for fordelene ved Vetek Semiconductors TAC -belægningskuck gør dem til en vigtig og kritisk komponent i halvlederfremstilling. Velkommen til undersøgelse af os.

Produktparameter for den tac coatede chuck:

Fysiske egenskaber ved TAC -belægning
TAC -belægningstæthed
14.3 (g/cm³)
Specifik emissivitet
0.3
Termisk ekspansionskoefficient 6.3*10-6/K
TAC Coating Hardness (HK)
2000 HK
Modstand
1 × 10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet
<2500 ℃
Ændringer i grafitstørrelse
-10 ~ -20um
Belægningstykkelse
≥20um typisk værdi (35um ± 10um)


Produktionsbutikker:

VeTek Semiconductor Production Shop


Oversigt over Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

Hot Tags: Tac coated chuck
Send forespørgsel
Kontaktoplysninger
For forespørgsler om siliciumcarbidbelægning, tantalcarbidbelægning, speciel grafit eller prisliste, bedes du efterlade din e-mail til os, og vi vil kontakte os inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept