Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -belægningsrør

TAC -belægningsrør

Vetek Semiconductors TAC -belægningsrør er en nøglekomponent til den vellykkede vækst af siliciumcarbid -enkeltkrystaller. Med sin høje temperaturresistens, kemisk inertitet og fremragende ydelse sikrer det produktion af krystaller af høj kvalitet med ensartede resultater. Stol på vores innovative løsninger til at forbedre din PVT -metode SIC -krystalvækstproces og opnå fremragende resultater. Velkommen til at undersøge os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating reservedel

TAC Coating reservedel

TAC-coating bruges i øjeblikket hovedsageligt i processer, såsom siliciumcarbid enkelt krystalvækst (PVT-metode), epitaksial disk (inklusive siliciumcarbidepitaxy, LED-epitaxy) osv. Kombineret med den gode langvarige stabilitet af TAC-coatingplade, Veteksemons Tac-belægningsplade er blevet benchmark til tacing-deling af dele. Vi ser frem til, at du bliver vores langsigtede partner.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Gan på EPI -modtageren

Gan på EPI -modtageren

GaN på SIC Epi -følger spiller en vigtig rolle i halvlederbehandlingen gennem dens fremragende termiske ledningsevne, høje temperaturbehandlingsevne og kemisk stabilitet og sikrer den høje effektivitet og den materielle kvalitet af den GAN -epitaksiale vækstproces. Vetek Semiconductor er en Kina -professionel producent af GaN på SIC Epi -følger, vi ser oprigtigt frem til din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
CVD TAC Coating Carrier

CVD TAC Coating Carrier

CVD TAC -belægningsbærer er hovedsageligt designet til den epitaksiale proces med halvlederproduktion. CVD TAC-coating-bærerens ultrahøj smeltepunkt, fremragende korrosionsmodstand og enestående termisk stabilitet bestemmer uundværlige dette produkt i halvlederpitaksialprocessen. Velkommen din yderligere forespørgsel.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TaC-belagt grafitmodtager

TaC-belagt grafitmodtager

Vetek Semiconductor's TAC -coatede grafit -susceptor bruger Chemical Vapor Deposition (CVD) -metode til at fremstille tantalcarbidbelægning på overfladen af ​​grafitdele. Denne proces er den mest modne og har de bedste belægningsegenskaber. TAC Coated Graphite Sceptor kan forlænge levetiden for grafitkomponenter, hæmme migrationen af ​​grafit -urenheder og sikre kvaliteten af ​​epitaxy. Vi ser frem til din forespørgsel.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC -belægningssubser

TAC -belægningssubser

Vetek Semiconductor præsenterer TAC -belægningsfølsomheden med sin ekstraordinære TAC -belægning, denne følsomhed tilbyder en lang række fordele, der adskiller den fra konventionel løsning. Integrerende problemfrit til eksisterende systemer, TAC -belægningsfølende fra Vetek Semiconductor garanterer kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydelse og TAC-belægning af høj kvalitet giver konsekvent ekstraordinære resultater i SIC-epitaxy-processer. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
De top 3 kvarts materielle leverandører i verden
De top 3 kvarts materielle leverandører i verdenSe mere >>
Hvad er siliciumcarbid keramik?
Hvad er siliciumcarbid keramik?Se mere >>
Hvad er forskellen mellem siliciumcarbid (SIC) og gallium nitrid (GAN) applikationer? - Vetek Semiconductor
Hvad er forskellen mellem siliciumcarbid (SIC) og gallium nitrid (GAN) applikationer? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvor meget ved du om Sapphire?
Hvor meget ved du om Sapphire?Se mere >>
Hvilket måleudstyr er der i Fab Factory? - Vetek Semiconductor
Hvilket måleudstyr er der i Fab Factory? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Anvendelse og forskning af siliciumcarbidkeramik inden for fotovoltaik - Vetek Semiconductor
Anvendelse og forskning af siliciumcarbidkeramik inden for fotovoltaik - Vetek SemiconductorSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept