Produkter
TAC -belægningsvarmer
  • TAC -belægningsvarmerTAC -belægningsvarmer

TAC -belægningsvarmer

Vetek Semiconductor TAC -belægningsvarmer har et ekstremt højt smeltepunkt (ca. 3880 ° C). Det høje smeltepunkt gør det muligt for det at fungere ved ekstremt høje temperaturer, især i væksten af ​​galliumnitrid (GAN) epitaksiale lag i metal -organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) -proces. Vetek Semiconductor er forpligtet til at give kunderne tilpassede produktløsninger. Vi ser frem til at høre fra dig.

TAC-belægningsvarmer er et højtydende opvarmningselement, der i vid udstrækning bruges i halvlederproduktionsprocesser. Dets overflade er belagt med tantalcarbidmateriale (TAC), som giver varmelegemet fremragende høj temperaturresistens, kemisk korrosionsmodstand og fremragende termisk ledningsevne.


De vigtigste anvendelser af TAC -belægningsvarmer i fremstilling af halvleder inkluderer:

 ✔ Under galliumnitrid (GaN) epitaksial vækstproces giver TaC Coating Heater et præcist kontrolleret højtemperaturmiljø for at sikre, at det epitaksiale lag aflejres på underlaget med en ensartet hastighed og høj kvalitet. Dens stabile varmeydelse hjælper med at opnå præcis kontrol af tyndfilmsmaterialer og forbedrer derved enhedens ydeevne.

 Desuden i MOCVD -processen (MOCVD), kombineret med den høje temperaturbestandighed og termiske ledningsevne af TAC -belægningen i den metal, i den metal -organiske kemiske dampaflejring (MOCVD), kombineret med den høje temperaturresistens og den termiske ledningsevne af TAC -belægningen. fremmer sin kemiske reaktion på substratoverfladen og forbedrer derved ensartetheden af ​​det epitaksiale lag og danner en film af høj kvalitet.

 ✔ Som industrileder inden for TaC Coating Heater-produkter, understøtter VeTek Semiconducto altid produkttilpasningstjenester og tilfredsstillende produktpriser. Uanset hvad dine specifikke krav er, vil vi matche den bedste løsning til dine behov for TaC Coating Heater og ser frem til din konsultation til enhver tid.


Grundlæggende fysiske egenskaber ved TAC -belægningsvarmer:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Densitet 14,3 (g/cm³)
Specifik emissivitet 0.3
Termisk ekspansionskoefficient 6,3*10-6/K
TaC coating hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1 × 10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500 ℃
Skift af grafitstørrelse -10 ~ -20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater produkter butikker:

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater products shops:

Hot Tags: TAC -belægningsvarmer
Send forespørgsel
Kontaktoplysninger
For forespørgsler om siliciumcarbidbelægning, tantalcarbidbelægning, speciel grafit eller prisliste, bedes du efterlade din e-mail til os, og vi vil kontakte os inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept