Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC Coating Rotation Plate

TAC Coating Rotation Plate

TAC-belægningsrotationsplade produceret af Vetek Semiconductor kan prale af en enestående TAC-belægning, med sin ekstraordinære TAC-belægning, TAC-belægningsrotationspladen kan prale af bemærkelsesværdige høje temperaturresistens og kemisk inertitet, der adskiller den fra traditionelle løsninger. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencepriser og ser frem til at være din langvarige partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC -belægningsplade

TAC -belægningsplade

Vetek Semiconductors TAC -belægningsplade er designet med præcision og konstrueret til perfektion og er specifikt skræddersyet til forskellige anvendelser i siliciumkarbid (SIC) enkeltkrystallvækstprocesser. TAC -belægningsplatens nøjagtige dimensioner og robust konstruktion gør det let at integrere i eksisterende systemer, hvilket sikrer problemfri kompatibilitet og effektiv drift. Dens pålidelige ydelse og belægning af høj kvalitet bidrager til konsistente og ensartede resultater i SIC-krystalvækstapplikationer. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
CVD TAC Coating Cover

CVD TAC Coating Cover

CVD TAC -belægningsdækning leveret af Vetek Semiconductor er en højt specialiseret komponent designet specifikt til krævende applikationer. Med sine avancerede funktioner og enestående ydelse giver vores CVD TAC -belægningsdækning flere vigtige fordele. Vores CVD TAC -belægningsdækning giver den nødvendige beskyttelse og ydeevne, der kræves til succes. Vi ser frem til at udforske potentielt samarbejde med dig!
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Planetary Sceptor

TAC Coating Planetary Sceptor

TAC Coating Planetary Sceptor er et usædvanligt produkt til Aixtron Epitaxy -udstyr. Vetek Semiconductors TAC-belægning giver fremragende høj temperaturresistens og kemisk inertitet. Denne unikke kombination sikrer pålidelig ydelse og lang levetid, selv i krævende miljøer. Vetek er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet og tjene som langsigtet partner på det kinesiske marked med konkurrencedygtige priser.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Pedestal Support Plate

TAC Coating Pedestal Support Plate

TAC -belægning kan modstå høj temperatur på 2200 ℃. Vetek Semiconductor giver TAC -belægning med høj renhed med urenheder under 5 ppm i Kina. TAC Coating Pedestal Support Plate er i stand til at modstå ammoniakhydrogen, argonin i den epitaksiale enhedsreaktionskammer. Det forbedrer produktets levetid. Du leverer kravene, vi leverer tilpasning.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC -belægning Chuck

TAC -belægning Chuck

Vetek Semiconductors TAC-belægning Chuck har en høj kvalitet belægning af overfladen, kendt for sine fremragende høje temperaturresistens og kemisk inertitet, især i siliciumcarbid (SIC) epitaxy (EPI) processer. Med sine ekstraordinære funktioner og overlegne ydelse tilbyder vores TAC-belægning Chuck flere vigtige fordele. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvad er Semiconductor Epitaxy Process?
Hvad er Semiconductor Epitaxy Process?Se mere >>
Hvad er TAC -belægning? - Vetek Semiconductor
Hvad er TAC -belægning? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Silicon (SI) Epitaxy Preparch Technology
Silicon (SI) Epitaxy Preparch TechnologySe mere >>
Hvad er hot presset sic keramik?
Hvad er hot presset sic keramik?Se mere >>
Hvad er den specifikke anvendelse af TAC -coatede dele i halvlederfeltet?
Hvad er den specifikke anvendelse af TAC -coatede dele i halvlederfeltet?Se mere >>
Hvad er temperaturgradienten for det termiske felt i en enkelt krystalovn?
Hvad er temperaturgradienten for det termiske felt i en enkelt krystalovn?Se mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept