TAC Coating reservedel

Det halvlederTAC -belægningspladeer et specielt materiale, der er meget brugt ihalvlederFremstillingsproces. Kombineret med sin høje hårdhed og slidstyrke, høj temperaturresistens, korrosionsbestandighed, lav friktionskoefficient og god termisk ledningsevne, spiller TAC -belægningsplade en uerstattelig rolle i mange forbindelser til halvlederforarbejdning.

Generelt anvendelser afTac coatede pladerI halvlederbehandling er som følger:

● CVD/ALD -vækstsubstrat: Den høje temperaturresistens, kemisk stabilitet og lav friktionskoefficient for TAC -coatede plader gør dem til ideelle CVD/ALD -vækstsubstrater. Det kan give et stabilt vækstmiljø for at sikre, at filmens ensartethed og densitet.

●  Ætsning af maskeplade: Den høje hårdhed og korrosionsmodstand af TAC-coatede plader gør det muligt for dem at modstå højenergiprocesser, såsom plasma-ætsning, som ætsemaskeplader, der beskytter den underliggende film.

●  CMP poleringspude: Slidbestandigheden og lav friktionskoefficient for TAC -coatede plader gør dem til ideelle materialer til CMP -poleringspuder, som effektivt kan fjerne partikler og defekter på overfladen af ​​filmen.

●  Ovn rør med høj temperatur: Den høje temperaturresistens og korrosionsbestandighed af TAC -coatede plader gør det muligt at bruge dem som ovnrør i høje temperaturovne til høje temperaturglødning, diffusion og andre processer.

CVD TAC -belægningstekniske parametre：

Vetek halvleder TAC Coating Reservedelprodukter butikker：