Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC-belagt ring med tre kronblade

TaC-belagt ring med tre kronblade

Vetek Semiconductor er en førende TAC-coatet tre-petal ringproducent og innovatør i Kina. Vi er blevet specialiseret i TAC og SIC-belægning i mange år. Vores produkter har en korrosionsbestandighed, høj styrke. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina. Velkommen til at konsultere når som helst.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalcarbidbelagt chuck

Tantalcarbidbelagt chuck

Vetek Semiconductor er en førende tantalcarbidovertrukket chuck-producent og innovatør i Kina. Vi er specialiseret i TAC-belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturmodstand op til 2000 ℃. Vi ser frem til at blive din langvarige partner i Kina. Velkommen til at konsultere til enhver tid.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalum carbid coated cover

Tantalum carbid coated cover

Vetek Semiconductor er en førende tantalcarbidovertrukket dækningsproducent og innovatør i Kina. Vi er blevet specialiseret i TAC og SIC -belægning i mange år. Vores produkter har en korrosionsbestandighed, høj styrke. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina. Velkommen til at konsultere når som helst.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Porøs grafit med tac coated

Porøs grafit med tac coated

Porøs grafit med TAC -belagt er et avanceret halvlederforarbejdningsmateriale leveret af Vetek Semiconductor. Porøs grafit med TAC -belagt kombinerer fordelene ved porøs grafit og tantalcarbid (TAC) belægning, med god termisk ledningsevne og gaspermeabilitet. Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalum carbidbelægningsdæksel

Tantalum carbidbelægningsdæksel

Tantalumcarbidbelægningsdækning er sammensat af grafit med høj renhed og TAC-belægning. Vetek Semiconductor er en førende leverandør og producent af tantalcarbidbelægningsdækning i Kina. Vi fokuserer på at tilvejebringe høj-renhed, høj-temperaturresistente tantalcarbidprodukter. Vores tantalcarbidovertrukket dækning har fremragende ydelse og pålidelighed og kan effektivt beskytte materialer i ekstremt høj temperatur og ætsende miljøer. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina. Velkommen til at konsultere når som helst.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coated Deflector Ring

TAC Coated Deflector Ring

Vetek Semiconductors TAC Coated Deflector Ring er en højt specialiseret komponent designet til SIC -krystalvækstprocesser. TAC -belægningen giver fremragende høj temperaturresistens og kemisk inertitet til at tackle de høje temperaturer og ætsende miljøer under krystalvækstprocessen. Dette sikrer stabil ydeevne og lang levetid for komponenten, hvilket reducerer hyppigheden af ​​udskiftning og nedetid. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina. Velkommen til at konsultere når som helst.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvad er forskellene mellem isotropisk grafit og siliconiseret grafit?
Hvad er forskellene mellem isotropisk grafit og siliconiseret grafit?Se mere >>
Siliciumcarbid nanomaterialer
Siliciumcarbid nanomaterialerSe mere >>
Porøs siliciumcarbid (SIC) keramiske plader: højtydende materialer i halvlederfremstilling
Porøs siliciumcarbid (SIC) keramiske plader: højtydende materialer i halvlederfremstillingSe mere >>
Hvad er forskellen mellem siliciumcarbid og tantalcarbidbelægninger?
Hvad er forskellen mellem siliciumcarbid og tantalcarbidbelægninger?Se mere >>
Hvad er TAC -belægning? - Vetek Semiconductor
Hvad er TAC -belægning? - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvor meget ved du om CVD SIC? - Vetek Semiconductor
Hvor meget ved du om CVD SIC? - Vetek SemiconductorSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept