Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantalcarbidbelagt rør til krystalvækst

Tantalcarbidbelagt rør til krystalvækst

Tantalcarbidbelagt rør til krystalvækst bruges hovedsageligt i SIC -krystalvækstprocessen. Vetek Semiconductor har leveret tantalcarbidbelagt rør til krystalvækst i mange år og har arbejdet inden for TAC -belægning i mange år. Vores produkter har en høj renhed og høj temperaturresistens. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina. Du er velkommen til at spørge os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TaC belagt ring til SiC epitaksial reaktor

TaC belagt ring til SiC epitaksial reaktor

VeTek Semiconductor er en førende producent og teknologiinnovator af TaC Coated Ring for SiC Epitaxial Reactor i Kina, med fokus på at levere højtydende løsninger til SiC epitaksiale reaktorer. Vi har mange års erfaring med TaC coating teknologi. TaC Coated Ring har karakteristika af høj renhed, høj stabilitet, fremragende korrosionsbestandighed osv., og kan give langsigtet stabil ydeevne i det barske arbejdsmiljø i epitaksiale reaktorer. Vi ser frem til at etablere et langsigtet strategisk partnerskab med dig.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalkarbidbelagt halvmånedel til LPE

Tantalkarbidbelagt halvmånedel til LPE

VeTek Semiconductor er en førende leverandør af Tantalcarbide Coated Halfmoon Part til LPE i Kina, med fokus på TaC-belægningsteknologi i mange år. Vores tantalcarbidbelagte halvmånedel til LPE er designet til væskefase-epitaksiproces og kan modstå høje temperaturer på over 2000 grader Celsius. Med fremragende materialeydelse og procesinnovation er vores produktlevetid på det førende niveau i branchen. VeTek Semiconductor ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coated Guide Ring

TAC Coated Guide Ring

TAC Coated Guide Ring er lavet af grafit af høj kvalitet og TAC-belægning. Ved fremstillingen af ​​SIC -krystaller ved PVT -metode bruges Vetek Semiconductors TAC Coated Guide Ring hovedsageligt til at guide og kontrollere luftstrømmen, optimere den enkelte krystalvækstproces og forbedre det enkelte krystaludbytte. Med fremragende TAC -belægningsteknologi har vores produkter fremragende høj temperaturresistens, korrosionsbestandighed og gode mekaniske egenskaber.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalcarbidbelagt planetarisk rotationsdisk

Tantalcarbidbelagt planetarisk rotationsdisk

VeTek Semiconductor er en førende producent og leverandør af Tantalumcarbide Coated Planetary Rotation Disk i Kina, med fokus på TaC-belægningsteknologi i mange år. Vores produkter har høj renhed og fremragende højtemperaturbestandighed, som er bredt anerkendt af halvlederproducenter. VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk er blevet rygraden i wafer-epitaksiindustrien. Vi ser frem til at etablere et langsigtet partnerskab med dig for i fællesskab at fremme teknologiske fremskridt og produktionsoptimering.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coated Graphite Wafer Carrier

TAC Coated Graphite Wafer Carrier

Vetek Semiconductor har omhyggeligt designet TAC Coated Graphite Wafer Carrier til kunder. Det er sammensat af grafit med høj renhed og TAC-belægning, som er velegnet til forskellige skivepitaksialskiverbehandling. Vi er blevet specialiseret i SIC og TAC -belægning i mange år. Sammenlignet med SIC-belægning har vores TAC-coated grafit Wafer Carrier en højere temperaturresistens og slidbestandig. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvor porøs grafit forbedrer siliciumcarbidkrystallvækst?
Hvor porøs grafit forbedrer siliciumcarbidkrystallvækst?Se mere >>
Hvad er forskellene mellem isotropisk grafit og siliconiseret grafit?
Hvad er forskellene mellem isotropisk grafit og siliconiseret grafit?Se mere >>
Hvad er forskellen mellem epitaxy og ALD?
Hvad er forskellen mellem epitaxy og ALD?Se mere >>
Baseret på 8-tommer siliciumcarbid enkelt krystalvækstovnsteknologi
Baseret på 8-tommer siliciumcarbid enkelt krystalvækstovnsteknologiSe mere >>
Principper og teknologi for fysisk dampaflejring (PVD) belægning (2/2) - VeTek Semiconductor
Principper og teknologi for fysisk dampaflejring (PVD) belægning (2/2) - VeTek SemiconductorSe mere >>
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8-tommer SiC-chips forventes at blive sat i produktion i december!
Sanan Optoelectronics Co., Ltd.: 8-tommer SiC-chips forventes at blive sat i produktion i december!Se mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept