TaC-belagt ring med tre kronblade

Vetek Semiconductor er en professionel Kina TAC-coatet tre-petal ringproducent og leverandør. Den TAC-belagte tre-petalring bruges i Aixtron G10-depositionssystem til sammensat halvleder, G10-gan 150/200 mm høj gennemstrømningsafpitaksy til GAN ​​Power & RF applikationer.

Vetek Semiconductor TAC-belægning er en ny generation af højtemperaturbestandigt materiale, med bedre høj temperaturstabilitet end SIC, som en korrosionsbestandig belægning, oxidationsbestandig belægning, slidbestandig belægning, kan bruges i miljøet over 2000 ℃, der er vidt brugt i Aerospace ultrahøj temperatur hot endedele, den tredje generation af halvlederens enkelt krystalvækst og andre felter.

Produktegenskaber:

1. Høj renhed, urenhedsindhold <5ppm

2. Høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, høj densitet, høj densitet

3. Det er kemisk inert over for ammoniak, brint, silan og silicium ved høj temperatur og har god termisk stabilitet.

4. termisk stødmodstand, kan fremskynde driftscyklussen

5. Stærk grafitvedhæftning sikrer lang levetid og ingen belægningsdelaminering.

6. Strenge dimensionelle tolerancer.

Hovedapplikationer:

1. Epitaksial vækst

2. enkelt krystalvækst

3. Korrosionsafledning ved høj temperatur

4. høj temperatur og oxidationsbestandig dyse

5. Gasturbinevinger

Produktparameter for den TaC-coatede trebladede ring

Sammenlign halvlederproduktionsbutik ：