Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC Coating Cover

CVD TAC Coating Cover

CVD TAC -belægningsdækning leveret af Vetek Semiconductor er en højt specialiseret komponent designet specifikt til krævende applikationer. Med sine avancerede funktioner og enestående ydelse giver vores CVD TAC -belægningsdækning flere vigtige fordele. Vores CVD TAC -belægningsdækning giver den nødvendige beskyttelse og ydeevne, der kræves til succes. Vi ser frem til at udforske potentielt samarbejde med dig!
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Planetary Sceptor

TAC Coating Planetary Sceptor

TAC Coating Planetary Sceptor er et usædvanligt produkt til Aixtron Epitaxy -udstyr. Vetek Semiconductors TAC-belægning giver fremragende høj temperaturresistens og kemisk inertitet. Denne unikke kombination sikrer pålidelig ydelse og lang levetid, selv i krævende miljøer. Vetek er forpligtet til at levere produkter af høj kvalitet og tjene som langsigtet partner på det kinesiske marked med konkurrencedygtige priser.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coating Pedestal Support Plate

TAC Coating Pedestal Support Plate

TAC -belægning kan modstå høj temperatur på 2200 ℃. Vetek Semiconductor giver TAC -belægning med høj renhed med urenheder under 5 ppm i Kina. TAC Coating Pedestal Support Plate er i stand til at modstå ammoniakhydrogen, argonin i den epitaksiale enhedsreaktionskammer. Det forbedrer produktets levetid. Du leverer kravene, vi leverer tilpasning.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC -belægning Chuck

TAC -belægning Chuck

Vetek Semiconductors TAC-belægning Chuck har en høj kvalitet belægning af overfladen, kendt for sine fremragende høje temperaturresistens og kemisk inertitet, især i siliciumcarbid (SIC) epitaxy (EPI) processer. Med sine ekstraordinære funktioner og overlegne ydelse tilbyder vores TAC-belægning Chuck flere vigtige fordele. Vi er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser og ser frem til at være din langsigtede partner i Kina.
Se mere >> Send forespørgsel >>
CVD TAC Coating Ring

CVD TAC Coating Ring

I halvlederindustrien er CVD TAC -belægningsring en meget fordelagtig komponent designet til at imødekomme de krævende krav til siliciumcarbid (SIC) krystalvækstprocesser. Vetek Semiconductors CVD TAC-belægningsring giver enestående høj temperaturresistens og kemisk inertitet, hvilket gør det til et ideelt valg til miljøer, der er kendetegnet ved forhøjede temperaturer og ætsende forhold. Vi er forpligtet til at skabe effektiv produktion af siliciumcarbid-enkeltkrystalltilbehør. Pls er velkommen til at kontakte os for flere spørgsmål.
Se mere >> Send forespørgsel >>
LPE Sic Epi Halfmoon

LPE Sic Epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon er et specielt design til horisontal epitaksiovn, et revolutionerende produkt designet til at hæve LPE-reaktor SiC-epitaksiprocesser. Denne banebrydende løsning kan prale af adskillige nøglefunktioner, der sikrer overlegen ydeevne og effektivitet gennem hele din fremstillingsproces.Vetek Semiconductor er professionel til at fremstille LPE SiC Epi halfmoon i 6 tommer, 8 tommer. Ser frem til at etablere et langsigtet samarbejde med dig.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Hvad er nøjagtigt den tredje generation af halvleder?
Hvad er nøjagtigt den tredje generation af halvleder?Se mere >>
Italiens LPE's 200 mm SiC epitaksiale teknologi fremskridt
Italiens LPE's 200 mm SiC epitaksiale teknologi fremskridtSe mere >>
Hvad er SIC-coated grafitfølsomhed?
Hvad er SIC-coated grafitfølsomhed?Se mere >>
Velkommen kunder til at besøge Veteksemicons kulfiberproduktfabrik
Velkommen kunder til at besøge Veteksemicons kulfiberproduktfabrikSe mere >>
Hvad er den tredje generation af halvlederindustrien?
Hvad er den tredje generation af halvlederindustrien?Se mere >>
De top 3 kvarts materielle leverandører i verden
De top 3 kvarts materielle leverandører i verdenSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept