Webmenu

Produktsøgning

Sprog

Produkter

Tantalcarbid belægning

VeTek semiconductor er en førende producent af tantalkarbidbelægningsmaterialer til halvlederindustrien. Vores vigtigste produkttilbud omfatter CVD-tantalcarbid-belægningsdele, sintrede TaC-belægningsdele til SiC-krystalvækst eller halvlederepitaksiprocessen. Bestået ISO9001, VeTek Semiconductor har god kontrol med kvaliteten. VeTek Semiconductor er dedikeret til at blive innovator i tantalkarbidbelægningsindustrien gennem løbende forskning og udvikling af iterative teknologier.


De vigtigste produkter erTaC Coated Guide Ring, CVD TaC-belagt styrering med tre kronblade, Tantalcarbid TaC Coated Halfmoon, CVD TaC belægning planetarisk SiC epitaksial susceptor, Tantalcarbid belægningsring, Tantalcarbid belagt porøs grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalcarbid ring, TaC Coating Rotationsplade, TaC coated wafer susceptor, TaC-belagt deflektorring, CVD TaC Coating Cover, TaC Coated Chuckosv., renheden er under 5 ppm, kan opfylde kundernes krav.


TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af ​​et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD). Fordelen er vist på billedet nedenfor:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalcarbid-belægningen (TaC) har fået opmærksomhed på grund af dets høje smeltepunkt på op til 3880°C, fremragende mekanisk styrke, hårdhed og modstandsdygtighed over for termiske stød, hvilket gør det til et attraktivt alternativ til sammensatte halvlederepitaksiprocesser med højere temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system og LPE SiC-epitaksiproces. Det har også en bred anvendelse i PVT-metoden SiC krystalvækstproces.


Nøglefunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultra høj renhed

 ●Modstandsdygtighed over for H2, NH3, SiH4, Si

 ●Modstandsdygtighed over for termisk materiale

 ●Stærk vedhæftning til grafit

 ●Konform belægningsdækning

 ● Størrelse op til 750 mm diameter (den eneste producent i Kina når denne størrelse)


Ansøgninger:

 ●Wafer bærer

 ● Induktiv varmemodtager

 ● Resistivt varmeelement

 ●Satellit disk

 ●Brusehoved

 ●Styrering

 ●LED Epi modtager

 ●Indsprøjtningsdyse

 ●Maskeringsring

 ● Varmeskjold


Tantalcarbid (TaC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter for VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating:

Fysiske egenskaber ved TaC-belægning
Tæthed 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsevne 0.3
Termisk udvidelseskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhed (HK) 2000 HK
Modstand 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstørrelsen ændres -10~-20um
Belægningstykkelse ≥20um typisk værdi (35um±10um)


TaC coating EDX data：

EDX data of TaC coating


TaC coating krystal struktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Gennemsnit
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
CVD TAC Coating Ring

CVD TAC Coating Ring

I halvlederindustrien er CVD TAC -belægningsring en meget fordelagtig komponent designet til at imødekomme de krævende krav til siliciumcarbid (SIC) krystalvækstprocesser. Vetek Semiconductors CVD TAC-belægningsring giver enestående høj temperaturresistens og kemisk inertitet, hvilket gør det til et ideelt valg til miljøer, der er kendetegnet ved forhøjede temperaturer og ætsende forhold. Vi er forpligtet til at skabe effektiv produktion af siliciumcarbid-enkeltkrystalltilbehør. Pls er velkommen til at kontakte os for flere spørgsmål.
Se mere >> Send forespørgsel >>
LPE Sic Epi Halfmoon

LPE Sic Epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon er et specielt design til horisontal epitaksiovn, et revolutionerende produkt designet til at hæve LPE-reaktor SiC-epitaksiprocesser. Denne banebrydende løsning kan prale af adskillige nøglefunktioner, der sikrer overlegen ydeevne og effektivitet gennem hele din fremstillingsproces.Vetek Semiconductor er professionel til at fremstille LPE SiC Epi halfmoon i 6 tommer, 8 tommer. Ser frem til at etablere et langsigtet samarbejde med dig.
Se mere >> Send forespørgsel >>
LED EPI

LED EPI

Vetek Semiconductor er en førende leverandør af TAC -belægninger og SIC -belægningsgrafitdele. Vi er specialiserede i produktionen af ​​avancerede LED-EPI-følgere, der er vigtige for LED-epitaxy-processer. Ser frem til din yderligere konsultation.
Se mere >> Send forespørgsel >>
MOCVD -følger med TAC -belægning

MOCVD -følger med TAC -belægning

Vetek Semiconductor er en omfattende leverandør involveret i forskning, udvikling, produktion, design og salg af TAC -belægninger og SIC -belægningsdele. Vores ekspertise ligger i produktionen af ​​avanceret MOCVD-følger med TAC-belægning, der spiller en vigtig rolle i LED-epitaksy-processen. Vi byder dig velkommen til at diskutere med amerikanske forespørgsler og yderligere information.
Se mere >> Send forespørgsel >>
TAC Coated Deep UV LED SUSCEPTOR

TAC Coated Deep UV LED SUSCEPTOR

TaC coating er en ny generation af coating udviklet til barske miljøer.VeTek Semiconductor er en integreret leverandør beskæftiget med forskning og udvikling, produktion, design og salg af TaC coatings. Vi har specialiseret os i fremstilling af kantskærende TaC Coated UV LED Susceptorer, som er afgørende komponenter i LED-epitaksiprocessen. Vores TaC Coated Deep UV LED Susceptor tilbyder høj termisk ledningsevne, høj mekanisk styrke, forbedret produktionseffektivitet og epitaksial waferbeskyttelse. Velkommen til at forespørge os.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Tantalcarbid tac coated halvmon

Tantalcarbid tac coated halvmon

Halfmoon -dele belagt med CVD TAC -belægning, er mere holdbar end SIC Coated Halfmoon Parts.Vetek Semiconductor er den førende producent og leverandør i Kina for Tantalcarbide TAC Coated Halfmoon, vi specialiserede os i F&U og produktion, kan kontrollere kvalitetsbrønden og tilbyde en konkurrencedygtig pris. Du er velkommen til at besøge vores fabrik for yderligere diskussion om et langsigtet samarbejde.
Se mere >> Send forespørgsel >>
Som professionel Tantalcarbid belægning producent og leverandør i Kina har vi vores egen fabrik. Uanset om du har brug for tilpassede tjenester til at imødekomme de specifikke behov i din region eller ønsker at købe avancerede og holdbare Tantalcarbid belægning lavet i Kina, kan du efterlade os en besked.
Nyhedsanbefalinger
Semiconductor substrat wafer: Materialeegenskaber af silicium, GaAs, SiC og GaN
Semiconductor substrat wafer: Materialeegenskaber af silicium, GaAs, SiC og GaNSe mere >>
Hvad er Semiconductor Epitaxy Process?
Hvad er Semiconductor Epitaxy Process?Se mere >>
Hvad er glasagtig kulstof？ - veteksemicon
Hvad er glasagtig kulstof？ - veteksemiconSe mere >>
Anvendelse og forskning af siliciumcarbidkeramik inden for fotovoltaik - Vetek Semiconductor
Anvendelse og forskning af siliciumcarbidkeramik inden for fotovoltaik - Vetek SemiconductorSe mere >>
Hvorfor er SIC -belægning et nøglemateriale til sic epitaksial vækst?
Hvorfor er SIC -belægning et nøglemateriale til sic epitaksial vækst?Se mere >>
De fire mest kraftfulde grafitproducenter i verden - Vetek
De fire mest kraftfulde grafitproducenter i verden - VetekSe mere >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept