TAC -belægning Chuck

Vetek Semiconductors TAC -belægning Chuck er den ideelle løsning til at opnå ekstraordinære resultater i SIC EPI -processen. Med sin tantalcarbidbelægning, høj temperaturresistens og kemisk inertitet giver vores produkt dig mulighed for at producere krystaller af høj kvalitet med præcision og pålidelighed. Velkommen til at undersøge os.

Tac tantalumcarbid er et materiale, der ofte bruges til at belægge overfladen af ​​interne dele af epitaksialudstyr. Det har følgende egenskaber:

● Fremragende resistens med høj temperatur: Tantalcarbidbelægning kan modstå temperaturer op til 2200 ° C, hvilket gør dem ideelle til anvendelser i miljøer med høj temperatur, såsom epitaksiale reaktionskamre.

● Høj hårdhed: Hårdheden ved tantalcarbid når ca. 2000 HK, hvilket er meget sværere end almindeligt anvendt rustfrit stål eller aluminiumslegering, hvilket effektivt kan forhindre overfladeslitage.

● Stærk kemisk stabilitet: tantalcarbidbelægning fungerer godt i kemisk ætsende miljøer og kan i høj grad udvide levetiden for epitaksiale udstyrskomponenter.

● God elektrisk ledningsevne: Belægningsoverflade har god elektrisk ledningsevne, som er befordrende for elektrostatisk frigivelse og varmeeledning.

Disse egenskaber gør tac tantalumcarbidbelægning til et ideelt materiale til fremstilling af kritiske dele, såsom interne bøsninger, reaktionskammervægge og opvarmningselementer til epitaksialudstyr. Ved at overtrække disse komponenter med TAC kan den samlede ydelse og levetid for det epitaksiale udstyr forbedres.

For siliciumcarbidepitaxy kan TAC -belægningstyk også spille en vigtig rolle. Overfladebelægningen er glat og tæt, hvilket er befordrende for dannelsen af ​​siliciumcarbidfilm af høj kvalitet. På samme tid kan den fremragende termiske ledningsevne af TAC hjælpe med at forbedre ensartetheden af ​​temperaturfordelingen inde i udstyret og derved forbedre temperaturkontrolnøjagtigheden af ​​den epitaksiale proces og i sidste ende opnå højere kvalitet af højere kvalitetSiliciumcarbidepitaksialLagvækst.

Vetek Semiconductor's Products Shops: