Hvad er den specifikke anvendelse af TAC -coatede dele i halvlederfeltet?

Fysiske egenskaber ved tantalcarbid (TAC) belægning

Anvendelsen af ​​tantalcarbid (TAC) belægning i halvlederfeltet

1. Epitaksial vækstreaktorkomponenter

TAC -belægning er vidt brugt i kemisk dampaflejring (CVD) reaktorkomponenter af galliumnitrid (GAN) epitaksial og siliciumcarbid (SIC) epitaksial, herunderWafer Carriers, parabolantenter, dyser og sensorer. Disse komponenter kræver ekstremt høj holdbarhed og stabilitet i høj temperatur og ætsende miljøer. TAC -belægning kan effektivt udvide deres levetid og forbedre udbyttet.

2.. Enkelt krystalvækstkomponent

I den enkelte krystalvækstproces af materialer som SIC, GaN og Aluminium Nitride (AIN),TAC -belægninganvendes til nøglekomponenter såsom crucibles, frøkrystallindehavere, styringsringe og filtre. Grafitmaterialer med TAC -belægning kan reducere urenhedsmigration, forbedre krystalkvaliteten og reducere defektdensiteten.

3. industrielle komponenter med høj temperatur

TAC -belægning kan bruges i industrielle applikationer med høj temperatur, såsom resistive opvarmningselementer, injektionsdyser, afskærmningsringe og lodningsarmaturer. Disse komponenter er nødt til at opretholde god ydeevne i miljøer med høj temperatur, og TACs varmemodstand og korrosionsmodstand gør det til et ideelt valg.

4. varmeapparater i MOCVD -systemer

TAC-coatede grafitvarmere er blevet indført med succes i Metal Organic Chemical Vamp Deposition (MOCVD) -systemer. Sammenlignet med traditionelle PBN-coatede varmeapparater kan TAC-varmeapparater give bedre effektivitet og ensartethed, reducere strømforbruget og reducere overflademissiviteten og derved forbedre integriteten.

5. Wafer Carriers

TAC-coatede wafer-bærere spiller en vigtig rolle i fremstillingen af ​​tredje generation af halvledermaterialer som SIC, AIN og GaN. Undersøgelser har vist, at korrosionshastigheden afTac -belægningerI høje temperatur er ammoniak og brintmiljøer meget lavere end forSic belægninger, hvilket får det til at vise bedre stabilitet og holdbarhed ved langvarig brug.