Cvd sic coated grafit bruser hoved

Veteksemicon CVD SIC Coated Graphite Shower Head, dens præcisions-konstruerede overflade sikrer ensartet gasfordeling, som er kritisk for at opnå konsekvent filmaflejring på tværs af skivere. DeSic coatingIkke kun forbedrer slidbestandighed og oxidationsmodstand, men udvider også levetiden under barske procesforhold.

CVD SIC coated-grafit Broes Head, der er vidt anvendt i halvleder Wafer Fabrication, Epitaxy og tyndfilmaflejring og er et ideelt valg for producenter, der søger pålidelig, høj renhed og langvarig proceskomponenter, der imødekommer kravene fra næste generations semikonductor-produktion.

Veteksemi CVD-siliciumcarbidbruser er fremstillet af kemisk damp med høj renhed deponeret siliciumcarbid og er optimeret til CVD- og MOCVD-processer i halvlederen, LED og avancerede elektronikindustrier. Dens enestående termiske stabilitet, korrosionsbestandighed og ensartet gasfordeling sikrer langvarig stabil drift i høj temperatur, meget ætsende miljøer, hvilket forbedrer processen gentagelighed og udbytte markant.

Veteksemicon cvd sic coated grafit brusehoved kernefordele fordele

● Ultrahøj renhed og densitet

CVD SIC-coatet grafitbrushoved fremstilles ved hjælp af en CVD-proces med høj renhed, hvilket sikrer en væsentlig renhed på ≥99.9995%, hvilket eliminerer eventuelle metalliske urenheder. Dens ikke-porøse struktur forhindrer effektivt gaspermeation og partikeludgydelse, hvilket gør den ideel til halvlederpitaxy og avancerede emballageprocesser, der kræver ekstremt høj renhed. Sammenlignet med traditionelle sintrede SIC- eller grafitkomponenter opretholder vores produkt stabil ydeevne, selv efter langvarig høj temperaturdrift, hvilket reducerer vedligeholdelsesfrekvens og produktionsomkostninger.

● Fremragende termisk stabilitet

I CVD- og MOCVD-processer med høj temperatur er konventionelle materialer modtagelige for deformation eller revner på grund af termisk stress. CVD SIC -brusehovedet tåler temperaturer op til 1600 ° C og har en ekstremt lav koefficient for termisk ekspansion, hvilket sikrer strukturel stabilitet under hurtig temperaturstigning og falder. Dens ensartede termiske ledningsevne optimerer temperaturfordelingen yderligere inden for reaktionskammeret, hvilket minimerer deponeringshastighedsforskelle mellem skiven og midten og forbedrer filmuniformitet.

● Anti-plasma-korrosion

Under ætsnings- eller deponeringsprocesser, stærkt ætsende gasser (såsom CF₄, Cl₂, og HBR) eroderer hurtigt konventionelle kvarts- eller grafitkomponenter. CVD-sic-materialet udviser enestående korrosionsbestandighed i plasmamiljøer med en levetid 3-5 gange den af ​​konventionelle materialer. Faktisk kundetest har vist, at selv efter 2000 timers kontinuerlig drift, forbliver porestørrelsesvariation inden for ± 1%, hvilket sikrer langvarig stabil gasstrømningsfordeling.

● Lange levetid og lave vedligeholdelsesomkostninger

Mens traditionelle grafitkomponenter kræver hyppig udskiftning, opretholder CVD -brusebadet med SIC -belagt stabil ydeevne, selv i barske miljøer. Dette reducerer de samlede omkostninger med over 40%. Endvidere forhindrer materialets høje mekaniske styrke utilsigtet skade under håndtering eller installation.

● Ecological Chain -verifikation påtegning

Veteksemicon CVD Silicon Carbide Showerhead 'Ecological Chain -verifikation dækker råvarer til produktionen, har passeret international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed i halvlederen og nye energifelter.

Tekniske parametre

Projekt	Parameter
Materiale	CVD SIC (coating -muligheder tilgængelige)
Diameterinterval	100 mm-450mm (tilpasses)
Tykkelse tolerance	± 0,05 mm
Overflades ruhed	≤0,2 μm
Relevant proces	CVD/MOCVD/PECVD/ætsning/epitaxy

Hovedapplikationsfelter

Anvendelsesretning	Typisk scenarie
Halvlederfremstilling	Silicon Epitaxy, GaN/GAAS -enheder
Power Electronics	Sic Epitaxial Wafer Production
Ledet	MOCVD Sapphire Substrataflejring
Videnskabeligt forskningsudstyr	Højpræcision tyndt filmaflejringssystem

Ecological Chain -verifikation påtegning

Veteksemicon CVD Silicon Carbide Showerhead 'Ecological Chain -verifikation dækker råvarer til produktionen, har passeret international standardcertificering og har en række patenterede teknologier for at sikre dens pålidelighed og bæredygtighed i halvlederen og nye energifelter.

For detaljerede tekniske specifikationer, hvide papirer eller prøvetestningsordninger, takKontakt vores tekniske supportteamFor at undersøge, hvordan Veteksemicon kan forbedre din proceseffektivitet.