Tantalum Carbide Coating Support

Hovedfunktionen af ​​Vetek SemiconductorTantalcarbid (TAC) belægningStøtte er at forbedreVarmebestandighed, slidstyrke og korrosionsbestandighedaf substratet ved at overtrække et lag tantalcarbidbelægning for at forbedre nøjagtigheden og pålideligheden af ​​processen og udvide komponenternes levetid. Det er et højtydende belægningsprodukt, der bruges inden for halvlederbehandling.

Vetek Semiconductor's Tantalum Carbide Coating Suppor har en Mohs -hårdhed på næsten 9 ~ 10, kun nummer to til Diamond. Det har ekstremt stærk slidstyrke og kan effektivt modstå overfladeslitage og påvirkning under behandlingen og derved effektivt udvide udstyrets levetid for udstyrskomponenter. Kombineret med sit høje smeltepunkt på ca. 3880 ° C bruges det ofte til belægning af nøglekomponenter i halvlederudstyr, såsom overfladebelægninger af understøttelsesstrukturer, varmebehandlingsudstyr, kamre eller pakninger i halvlederudstyr for at forbedre dens slidstyrke og høj temperaturresistens.

På grund af det ekstremt høje smeltepunkt for tantalcarbid på ca. 3880 ° C, i halvlederforarbejdningsprocesser såsomKemisk dampaflejring (CVD)ogFysisk dampaflejring (PVD), TAC -belægning med stærk høj temperaturresistens og kemisk korrosionsbestandighed kan effektivt beskytte udstyrskomponenter og forhindre korrosion eller skade på underlaget i ekstreme miljøer, hvilket giver effektiv beskyttelse af høje temperaturmiljøer i Wafer Manufacturing. Denne funktion bestemmer også, at Vetek Semiconductors Tantalum Carbide Coating -understøttelse ofte bruges til ætsning og ætsende processer.

Tantalumcarbidbelægningsstøtte har også funktionen til at reducere partikelforurening. Under Wafer -behandling producerer overfladetøj normalt partikelformet kontaminering, hvilket påvirker produktkvaliteten af ​​skiven. TAC Coating's ekstreme produktkarakteristika for tæt på 9-10 MOHS-hårdhed kan effektivt reducere dette slid og derved reducere genereringen af ​​partikler. Kombineret med TAC Coating's fremragende termiske ledningsevne (ca. 21 W/M · K) kan det opretholde god termisk ledningsevne under høje temperaturforhold, hvilket i høj grad forbedrer udbyttet og konsistensen af ​​Wafer -fremstilling.

Vetek Semiconductors vigtigste TAC -belægningsprodukter inkludererTAC -belægningsvarmer, CVD TAC Coating Crucible, TAC Coating Rotation SceptorogTAC Coating reservedelosv., og support tilpassede produkttjenester. Vetek Semiconductor er forpligtet til at levere fremragende produkter og tekniske løsninger til halvlederindustrien. Vi håber inderligt at blive din langsigtede partner i Kina.

Tantalumcarbid (TAC) belægning på et mikroskopisk tværsnit:

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD TAC -belægning：