CVD TAC Coating Crucible

TAC -belægningsrotationsceptor spiller en nøglerolle i afsætningsaflejringsprocesser såsom CVD og MBE og er en vigtig komponent til Wafer -behandling i halvlederfremstilling. Blandt dem,TAC -belægningHar fremragende høj temperaturresistens, korrosionsbestandighed og kemisk stabilitet, hvilket sikrer høj præcision og høj kvalitet under Wafer -behandling.

CVD TAC Coating Crucible består normalt af TAC -belægning oggrafitsubstrat. Blandt dem er TAC et keramisk materiale med højt smeltepunkt med et smeltepunkt på op til 3880 ° C. Det har ekstremt høj hårdhed (Vickers -hårdhed op til 2000 HV), kemisk korrosionsmodstand og stærk oxidationsmodstand. Derfor er TAC -belægning et fremragende højtemperaturresistent materiale i halvlederforarbejdningsteknologi.

Grafitsubstratet har god termisk ledningsevne (termisk ledningsevne er ca. 21 W/M · K) og fremragende mekanisk stabilitet. Denne karakteristik bestemmer, at grafit bliver en ideel belægningsubstrat.

CVD TAC Coating Crucible bruges hovedsageligt i følgende teknologier til halvlederforarbejdningsteknologier:

Wafer Manufacturing: Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Crucible har fremragende høj temperaturresistens (smeltepunkt op til 3880 ° C) og korrosionsbestandighed, så det bruges ofte i nøgle skivefremstillingsprocesser, såsom dampaflejring af høj temperatur (CVD) og epitaksial vækst. Kombineret med produktets fremragende strukturelle stabilitet i ultrahøj temperaturmiljøer sikrer det, at udstyret kan fungere stabilt i lang tid under ekstremt barske forhold, hvilket effektivt forbedrer produktionseffektiviteten og kvaliteten af ​​skivere.

Epitaksial vækstproces: I epitaksiale processer såsomKemisk dampaflejring (CVD)og Molecular Beam Epitaxy (MBE), CVD TAC Coating Crucible spiller en nøglerolle i transporten. Dens TAC -belægning kan ikke kun opretholde den høje renhed af materialet under ekstrem temperatur og ætsende atmosfære, men også effektivt forhindre kontaminering af reaktanterne på materialet og korrosionen af ​​reaktoren, hvilket sikrer nøjagtigheden af ​​produktionsprocessen og produktkonsistensen.

Som Kinas førende CVD TAC -coating -digelproducent og leder, kan Vetek Semiconductor levere tilpassede produkter og tekniske tjenester i henhold til dit udstyr og procesbehov. Vi håber inderligt at blive din langsigtede partner i Kina.

Tantalumcarbid (TAC) belægning på et mikroskopisk tværsnit：

Fysiske egenskaber ved TAC -belægning：

Det halvleder CVD TAC Coating Crucible Shops ：